Varaosat epitaksiaaliseen kasvuun

Semicorexin varaosat epitaksiaalisessa kasvussa ovat ehdottoman kriittisiä, erityisesti prosesseissa, joihin liittyy kvartsiputkiasennuksia. Nämä osat ovat välttämättömiä kaasun virtauksen helpottamiseksi tarjottimen pohjan pyörittämiseksi ja varmistavat tarkan lämpötilan hallinnan koko epitaksiaalisen kasvuprosessin ajan. Semicorex Spare Parts in Epitaxial Growth, joka tunnetaan puhekielellä puoliosina, on huolellisesti suunniteltu kestämään korkeita lämpötiloja ja syövyttäviä ympäristöjä, jotka ovat ominaisia ​​epitaksiaalisille kasvukammioille. Piikarbidista (SiC) valmistetut ne tarjoavat poikkeuksellisen lämpö- ja kemiallisen stabiilisuuden, mikä tekee niistä ihanteellisen valinnan tällaisiin vaativiin sovelluksiin. SiC:n käyttö varmistaa, että nämä osat kestävät vaativimmissakin olosuhteissa.

Epitaksiaalisen kasvun varaosat muistuttavat puolikuun muotoa, ja ne on suunniteltu sopimaan tiukasti kvartsiputkikokoonpanoon. Niiden ainutlaatuinen puolikuun kokoonpano mahdollistaa niiden helpon asettamisen ja poistamisen järjestelmään, mikä helpottaa huolto- ja vaihtomenettelyjä tehokkaasti ja tarkasti.

Epitaksiaalisen kasvun varaosat palvelevat useita tarkoituksia. Ensinnäkin ne auttavat epitaksiaalisen kasvuprosessin kannalta välttämättömien kaasujen hallinnassa. Kaasun virtausnopeuksia ja jakautumista säätelemällä ne varmistavat puolijohdemateriaalien tasaisen kerrostumisen alustan pinnalle, mikä on ratkaisevan tärkeää haluttujen materiaaliominaisuuksien ja laitteen suorituskyvyn saavuttamiseksi.

Epitaksiaalisen kasvun varaosat edistävät alustan pohjan pyörimisliikettä kasvukammiossa. Tämä pyöriminen on avainasemassa kerrostuneiden materiaalien tasaisen jakautumisen edistämisessä, mikä estää epäsäännöllisyyksien tai vikojen muodostumisen epitaksiaalisissa kerroksissa.