Piikiekkojen alusta

Semicorex tarjoaa puolijohdelaatuista keramiikkaa OEM-puolivalmistustyökaluihisi ja kiekkojen käsittelykomponentteihin keskittyen puolijohdeteollisuuden piikarbidikerroksiin. Olemme olleet Silicon Wafer Carrierin valmistaja ja toimittaja useiden vuosien ajan. Silicon Wafer Carrierillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Puolijohdepinnoitusprosessit käyttävät haihtuvien esiastekaasujen, plasman ja korkean lämpötilan yhdistelmää korkealaatuisten ohuiden kalvojen kerrostamiseen kiekkoille. Saostuskammiot ja kiekkojen käsittelytyökalut tarvitsevat kestäviä keraamisia komponentteja kestämään näitä haastavia ympäristöjä.
Semicorex Silicon Wafer Carrier on erittäin puhdasta piikarbidia, jolla on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus.

Silicon Wafer Carrierin parametrit

Tekniset ominaisuudet
Indeksi	Yksikkö	Arvo
Materiaalin nimi		Reaktiosintrattu piikarbidi	Paineton sintrattu piikarbidi	Uudelleenkiteytetty piikarbidi
Koostumus		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkkitiheys	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Taivutusvoima	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Puristusvoima	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kovuus	Painike	2700	2800	/
Sitkeys rikkoo	MPa m1/2	4.5	4	/
Lämmönjohtavuus	W/m.k	95	120	23
Lämpölaajenemiskerroin	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Ominaislämpö	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max lämpötila ilmassa	℃	1200	1500	1600
Elastinen moduuli	Gpa	360	410	240

Ero SSiC:n ja RBSiC:n välillä:

1. Sintrausprosessi on erilainen. RBSiC:n tarkoituksena on tunkeutua vapaasti piikarbidiin alhaisessa lämpötilassa, SSiC muodostuu luonnollisella kutistumalla 2100 asteessa.

2. SSiC:llä on tasaisempi pinta, suurempi tiheys ja suurempi lujuus. Joillekin tiivisteille, joilla on tiukemmat pintavaatimukset, SSiC on parempi.

3. Erilainen käyttöaika eri pH:ssa ja lämpötilassa, SSiC on pidempi kuin RBSiC

Silicon Wafer Carrierin ominaisuudet

Erittäin puhdasta SiC-pinnoitettua grafiittia
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.

Piikarbidikeramiikan saatavilla olevat muodot:

● Keraaminen tanko / keraaminen tappi / keraaminen mäntä

● Keraaminen putki / keraaminen holkki / keraaminen holkki

● Keraaminen rengas / keraaminen aluslevy / keraaminen välike

● Keraaminen levy

● Keraaminen levy / keraaminen lohko

● Keraaminen pallo

● Keraaminen mäntä

● Keraaminen suutin

● Keraaminen upokas

● Muut mukautetut keraamiset osat