Kaarevat piielektrodit

Edistyneen etsauslaitteiston aikana piikaartuva elektrodi asennetaan yleensä etsauskammion yläosaan puolijohdekiekkoon päin. Kaareva piielektrodi toimii tyypillisesti yhdessä sähköstaattisen istukan, Si-tarkennusrenkaan, Si-reunarenkaan, Si-poistorenkaan ja Si-suojarenkaan kanssa optimaalisten käyttöolosuhteiden tarjoamiseksi erittäin tarkkaan etsaukseen.

Semicorex piikaarevien elektrodien toiminnot

1. Yhteensopiva monimutkaisen 3D-rakenteen etsauksen kanssa

Poikkeuksellisella 3D-sähkökentän ohjauskyvyllä, Semicorexkaarevat piielektroditne sopivat täydellisesti monimutkaisten rakenteiden geometrisiin ominaisuuksiin. Erityinen kaareva muotoilu mahdollistaa tarkan plasmaohjauksen ja optimoidun energian jakautumisen, mikä vaikuttaa merkittävästi 3D-rakenteen etsauksen kuvasuhteeseen ja sivuseinän pystysuoraan ja täyttää täysin kehittyneiden pakkausprosessien ja 3D IC-integraation tuotantolinjavaatimukset.

2. Etch-kaasun jakelun tarkka ohjaus

Kaarevien semicorex-piielektrodien pinnalla on useita tasaisesti jakautuneita mikroreikiä syövytyskaasun pääsyä varten syövytyskammioon. Kaarevat semicorex-piielektrodit voivat saavuttaa tarkan etsauskaasun hallinnan ja mahdollistavat sen tasaisen jakautumisen etsauskammiossa, mikä minimoi epäyhtenäisen kaasun jakautumisen aiheuttamat prosessivaihtelut.

Semicorex piikaarevien elektrodien edut

1. Erittäin puhdas

Kaarevat semicorex-piielektrodit on valmistettu erittäin puhtaasta yksikiteestäpiitäjoiden puhtausaste on yli 99,9999999%, mikä tarjoaa erinomaisen vastustuskyvyn plasmaeroosiota vastaan. Tämä korkealaatuinen materiaalivalikoima voi tehokkaasti välttää ei-toivotun saastumisen, joka johtuu syövytyksen sivutuotteista, ja samalla pidentää merkittävästi piikaarevien elektrodien käyttöikää.

2. Erinomaiset sähköominaisuudet

Valmistettu MCZ:ssä kasvatetusta yksikiteisestä piistä, kaarevat Semicorex-pii-elektrodit osoittavat erinomaisen ominaisvastustasaisuuden: ＜5 % ja laajan valittavissa olevan resistiivisyyden alue: matala res. (<0,02), keskiresoluutio (1–4) ja korkearesoluutio (70–90).

3. Tarkka käsittelyn tarkkuus

Korkean tarkkuuden mekaanisen käsittelyn ansiosta kaarevat Semicorex-piielektrodit saavuttavat tasaisen huokoskoon ja tasaisen reikien jakautumisen. Niiden pinnat on kiillotettu ja hiottu: kiillotettu (Ra < 0,1 μm) ja hiottu (Ra < 1,6 μm), ja kokonaistyöstön tarkkuus on 0,03 mm:n sisällä.