Piikarbidi tyhjiö istukka

Semicorex -piikarbidi -tyhjiöpoika on tärkeä osa puolijohdevalmistusta prosesseille, jotka tarvitsevat suurta tarkkuutta ja vähän saastumista. Tyhjiöpoikut valmistetaan korkean puhtaan huokoisesta piilarbidikeramiikasta ja ne tarjoavat erinomaisen mekaanisen lujuuden, lämmönjohtavuuden ja kemiallisen inerttisen, ja niissä on tarkasti kontrolloitu huokosrakenne luotettavan tyhjiöpidätyskykyyn. Piilarbidi -tyhjiöpoikula on funktionaalinen adsorptiolaite, joka on valmistettu piikarbidista (sic) keraamisesta materiaalista, joka perustuu tyhjiönegatiiviseen paineeseen, sähköstaattiseen adsorptioon tai mekaaniseen kiinnittimeen työkappaleen vakaan käsityksen aikaansaamiseksi. Tyhjiöskyselyjä on käytetty puolijohteissa, aurinkosähköissä, tarkalla valmistuksella ja muilla sovelluksilla, joilla on poikkeuksellisen korkeat vaatimukset materiaalin korkealle lämpötilan vastuskestävyydelle, kulumiskestävyydelle ja puhtaudella.

Pohjaheittääon huokoinen SIC -materiaali, jolla on ennustettava ilmanpäästö sen pinnan yli. Tämä tarkoittaa, että on mahdollista adsorboida kiekko turvallisesti ilman mekaanista puristamista ja siksi fyysisten vaurioiden potentiaalia tai näytteen saastumista. Materiaalin huokoisuus on tiukasti kontrolloitu - tyypillisesti huokoisuus on 35–40% - oikean tyhjiöjakauman aikaansaamiseksi, mutta myös kestävän lämpö- ja mekaanisen syklin rakennevaatimusten täyttämiseksi.

Kiekko tyhjiö istukkaon yleensä tehty kovasta pinnasta, jossa on monia pieniä reikiä tai kanavia pinnalla. Näiden pienten reikien läpi istukka voidaan kytkeä tyhjiöpumppuun, mikä luo tyhjiövaikutuksen. Kun kiekko asetetaan istukan päälle, tyhjiöpumppu kytketään päälle ja ilma vedetään pienten reikien läpi, mikä luo tyhjiön kiekon ja istukan väliin. Tämä tyhjiövaikutus luo tarpeeksi imua kiekon kiinnittämiseksi tiukasti istukan pintaan.

Keraamisia pintoja käytetään usein sovelluksissa, jotka vaativat suurta puhtautta ja kemiallista stabiilisuutta. Keramiikka on materiaaleja, jotka tuotetaan mineraalien korkean lämpötilan fuusiolla. Yleisesti ottaen keramiikka on sähköeristeitä tai puolijohteita, ja niillä on suuri vastus lämpöeroon, eroosiolle ja vaurioille.

Semicorex rakentaa räätälöityjä piikarbidi -tyhjiöpoikakalvon asiakkaan eritelmiin esimerkiksi mittojen, huokoisuuden, pintapinnan ja tyhjiökanavien kuvioiden suhteen. Valmistus- ja puhdasta huoneominaisuuksiemme seurauksena tarjoamme parhaan matalan hiukkasten irtoamisen ja puhtauden kaikkien puolijohdeiden ja laitevalmistajien puhtausvaatimukset.

Voimme tehdä istunnon minkä tahansa kokoiselle kiekkolle, 2 tuuman 12 tuuman kiekosta ja sopeutua istukan integroimiseksi moniin kiekkojen prosessointilaitteisiin. Sitä voidaan käyttää käyttöliittymäprosesseihin ja/tai taustaprosesseihin, mikä tekee sic-tyhjiöpoikasta taloudellisen, tarkan, vakaan ja saastumisen vapaan kiekkojen tuen keinot puolijohdepohjaisessa Fab-työnkulussa.

Piiharbidi -tyhjiöpoikula on välttämätön työkalu nykypäivän puolijohdevalmistuksessa, joka yhdistää parhaat materiaalit ja tekniikan. Kestävä ja tarttuva luotettavuus lämpö- ja kemiallisten ääripäiden avulla tekevät siitä täydellisen tuen prosessisovelluksissa, jotka sisältävät vahaus, ohenemisen, puhdistuksen ja RTA: n. Hankittamalla piikarbidi -tyhjiöpisarasi puoliskojen kautta, varmistat parhaan materiaalin puhtauden, mukautetut ratkaisut ja luotettavan suorituskyvyn erinomaisten tulosten saavuttamiseksi kaikissa kiekkojen prosessointilinjoissa.