Piikarbidikeramiikka (SiC) on edistynyt keraaminen materiaali, joka sisältää piitä ja hiiltä. Piikarbidin rakeita voidaan liittää yhteen sintraamalla, jolloin muodostuu erittäin kovaa keramiikkaa. Semicorex toimittaa mukautettua piikarbidikeramiikkaa tarpeidesi mukaan.
Sovellukset
Piikarbidikeramiikassa materiaalin ominaisuudet pysyvät vakioina yli 1400°C lämpötiloihin asti. Korkea Youngin moduuli > 400 GPa varmistaa erinomaisen mittavakauden.
Tyypillinen piikarbidikomponenttien käyttökohde on dynaaminen tiivistystekniikka, jossa käytetään kitkalaakereita ja mekaanisia tiivisteitä esimerkiksi pumpuissa ja käyttöjärjestelmissä.
Kehittyneiden ominaisuuksiensa ansiosta piikarbidikeramiikka soveltuu erinomaisesti käytettäväksi myös puolijohdeteollisuudessa.
Vohveliveneet →
Semicorex Wafer Boat on valmistettu sintratusta piikarbidikeramiikasta, jolla on hyvä korroosionkestävyys ja erinomainen korkeiden lämpötilojen ja lämpöshokin kesto. Edistyksellinen keramiikka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja plasman kestävyyden samalla, kun se vähentää hiukkasia ja epäpuhtauksia suurikapasiteettisissa kiekkotelineissä.
Reaktiosintrattu piikarbidi
Verrattuna muihin sintrausprosesseihin reaktiosintrauksen koonmuutos tiivistysprosessin aikana on pieni ja voidaan valmistaa tarkan kokoisia tuotteita. Kuitenkin suuri määrä SiC:tä sintratussa kappaleessa huonontaa reaktiosintratun piikarbidikeramiikan suorituskykyä korkeassa lämpötilassa.
Paineeton sintrattu piikarbidi
Paineton sintrattu piikarbidi (SSiC) on erityisen kevyt ja samalla kova korkean suorituskyvyn keramiikka. SSiC:lle on ominaista korkea lujuus, joka pysyy lähes vakiona jopa äärimmäisissä lämpötiloissa.
Uudelleenkiteinen piikarbidi
Uudelleenkiteytetty piikarbidi (RSiC) ovat seuraavan sukupolven materiaaleja, jotka on muodostettu sekoittamalla erittäin puhdasta piikarbidin karkeaa jauhetta ja korkea-aktiivista piikarbidin hienojakoista jauhetta ja injektoinnin jälkeen tyhjösintraamalla 2450 °C:ssa uudelleenkiteyttämiseksi.
Semicorexin ultrapuhtaat keraamiset komponentit sopivat täydellisesti seuraavan sukupolven litografiaan ja kiekkojen käsittelyyn. Ne takaavat minimaalisen kontaminoitumisen ja tarjoavat poikkeuksellisen pitkän käyttöiän. Wafer Vacuum Chuckillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyKestävät Semicorex-tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn on suunniteltu kestämään puolijohdekäsittelyssä käytettävien plasmaetsauskammioiden äärimmäisiä ympäristöjä. Tarkennusrenkaamme on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista, joka on päällystetty tiheällä, kulutusta kestävällä piikarbidipinnoitteella (SiC). SiC-pinnoitteella on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitille käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD) parantaaksemme tarkennusrenkaidemme käyttöikää.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Plasmakäsittelyn tarkennusrengas on erityisesti suunniteltu täyttämään puolijohdeteollisuuden plasmaetsausprosessoinnin korkeat vaatimukset. Kehittyneet, erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentimme on rakennettu kestämään äärimmäisiä ympäristöjä ja ne soveltuvat käytettäväksi erilaisissa sovelluksissa, mukaan lukien piikarbidikerrokset ja epitaksiset puolijohteet.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin edistyneet, erittäin puhtaat SiC Focus Rings -renkaat on rakennettu kestämään äärimmäisiä ympäristöjä plasmaetsauskammioissa (tai kuivaetsauskammioissa). Keskitymme puolijohdeteollisuuteen, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex on suuri piikarbidilla päällystetyn grafiitin valmistaja ja toimittaja Kiinassa. MOCVD-imutiivisterenkaallamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex on suuri piikarbidilla päällystetyn grafiitin valmistaja ja toimittaja Kiinassa. MOCVD-imurenkaillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi.
Lue lisääLähetä kysely