SiC pystysuorat veneet

Semicorex SiC Vertical Boats ovat suunniteltuja kiekkotelineitä, jotka on suunniteltu ja valmistettu tarjoamaan korkein lämpö-, mekaaninen ja kemiallinen stabiilisuus pystysuorassa uunin puolijohdekäsittelyssä. Valmistettu erittäin puhtaastapiikarbidiUskomme, että ne ovat paras tasapaino lujuuden, kestävyyden ja puhtauden välillä erittäin edistyneessä kiekkojen lämpökäsittelyssä, joka tunnetaan hapetuksena, diffuusiona, LPCVD:nä ja hehkutuksena pystysuorassa uunijärjestelmissä.

Pystysuoran uunin prosessointiympäristöt vaativat kiekkojen tukijärjestelmän, joka kestää toistuvan altistuksen korkeassa, usein yli 1 200 °C:n lämpötilassa, ja pysyy mittasuhteiltaan vakaana ilman kontaminaatioongelmia. SiC Vertical Boats erottuu kestävyydestään näissä tilanteissa uudelleenkiteytetyn tai CVD-piikarbidin luontaisten mekaanisten ja lämpöominaisuuksien ansiosta. Niiden erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin varmistaa minimaalisen vääntymisen tai vääristymisen nopean lämpökierron takia. Lisäksi korkea lämmönjohtavuus tarjoaa suurimman paikallisen lämpötilan homogeenisuuden kaikissa kiekoissa, mikä on kriittistä kiekkojen välisen johdonmukaisuuden kannalta kerrospaksuudessa, seostusprofiileissa ja sähköisessä suorituskyvyssä. puolijohdeteollisuuden suurien volyymien valmistuksen tärkeitä näkökohtia.

Perinteisiin kvartsiveneisiin verrattuna SiC Vertical Boats -veneet tarjoavat erinomaisen mekaanisen lujuuden ja pidemmän käyttöiän. Kvartsilla on taipumus haurastua ja hajoaa ajan myötä, erityisesti aggressiivisissa uunikemioissa, mikä johtaa korkeampiin korvauskustannuksiin ja mahdollisiin tuotantokatkoihin. Sitä vastoin piikarbidi säilyttää eheytensä jopa pitkän altistuksen jälkeen syövyttäville kaasuille, kuten kloorille, HCl:lle tai ammoniakille, jotka ovat yleisiä erilaisissa diffuusio- ja LPCVD-prosesseissa. Sen poikkeuksellinen kulumis- ja hapettumiskestävyys vähentää huomattavasti hiukkasten muodostumista, mikä auttaa suojaamaan kiekkojen pintoja kontaminaatiolta ja vikojen muodostumiselta.

SiC Vertical Boats tarjoaa myös merkittävän edun erittäin puhtaan käsittelyn kannalta. Erittäin puhdasta piikarbidimateriaalia käsitellään tiukasti huolellisesti, jotta voidaan vähentää havaittavissa olevia kontaminoituvia metalleja, jotka voivat häiritä puolijohdelaitteiden toimintaominaisuuksia. SiC Vertical Boat -pinnat ovat hyvin viimeisteltyjä suorakulmaisilla ominaisuuksilla, jotka minimoivat mikrohiukkasten irtoamisen mahdollisuuden. SiC-pinnat ovat kemiallisesti inerttejä eivätkä reagoi prosessikaasujen kanssa, joten ne ovat vähemmän alttiita kontaminaatiolle. Tässä suhteessa SiC Vertical Boats soveltuu hyvin linjan etupään (FEOL) ja linjan takapään (BEOL) kiekkojen käsittelytoimintoihin.

SiC Vertical Boats -veneet tarjoavat myös suunnittelun joustavuutta. Jokainen pystysuora vene voi olla suunnittelukohtainen, jotta se soveltuu useille kiekkojen halkaisijoille (150 mm, 200 mm tai 300 mm kiekkoille), ja aukkojen lukumäärää ja väliä voidaan käyttää prosessivaatimusten täyttämiseksi. Tarkkuustyöstö ja mittojen hallinta mahdollistavat oikean kiekkojen kohdistuksen ja kiekkojen tuen, mikä minimoi mikronaarmujen tai jännityshalkeamien todennäköisyyden lataamisen, käsittelyn ja purkamisen aikana. Lisäksi, jos tiettyä prosessia varten vaaditaan erinomaista lämpötilan tasaisuutta ja/tai pienempää lämpömassaa, optimoidut geometriat ja uramallit voidaan sisällyttää SiC Vertical Boat -konfiguraatioihin mekaanisista ominaisuuksista tinkimättä.

Toinen etu on ylläpito ja toiminnan tehokkuus. Jäykkä rakenneSiCVertical Boats vähentää vaihtoaikaa ja -tiheyttä, mikä minimoi seisokkeja tai omistuskustannuksia. SiC:n lämpöiskunkestävyys mahdollistaa lyhyemmät lämmitys- ja jäähdytysjaksot, mikä parantaa tuotantolinjojen suorituskykyä. SiC Vertical Boatsin huolto tai puhdistus on myös hyvin yksinkertaista; materiaali kestää useimmat tavanomaiset märkä- tai kuivapesuprosessit, jotka ovat yleisiä puolijohdekankaissa, kuten kemiallinen puhdistus hapoilla ja korkean lämpötilan paisto.

Tässä nykyaikaisessa kehittyneen puolijohdevalmistuksen aikakaudella, jossa tuoton parantaminen, kontaminaatioiden hallinta ja prosessin vakaus ovat tärkeitä, SiC Vertical Boats tarjoaa todellisen teknologisen edun. Ne käsittelevät hyvin pystysuorien uunisovellusten fysikaalisia ja kemiallisia haasteita ja edistävät prosessin kokonaisoptimointia tarjoamalla kiekkojen eheyttä, tasalaatuisia tuloksia ja pidemmän laitteiden käyttöiän.