Sic -pystysuora veneet

Semicorex sic -pystysuorat veneet on suunniteltu kiekko -kantajia, jotka on suunniteltu ja valmistettu tarjoamaan korkein lämpö-, mekaaninen ja kemiallinen stabiilisuus pystysuuntaisen uunin puolijohdeprosessointiin. Rakennettu suuresta puhtaastapiikarbidi, Uskomme, että ne ovat paras voiman, kestävyyden ja puhtauden tasapaino erittäin edistyneelle kiekkojen lämpökäsittelylle, havaitaan hapettumisen, diffuusion, LPCVD: n ja hehkuttamisen pystysuuntaisissa uunijärjestelmissä.

Pystysuorat uunien prosessointiympäristöt vaativat kiekkojen tukijärjestelmän, joka kestää toistuvia valotuksia korkeassa lämpötilassa, joka on usein yli 1200 ° C, ja pysyvät mita-stabiilisesti vakaana ilman saastumisongelmia. SIC -pystysuorat veneet erinomaisesti näiden tilanteiden kestävyydessä uudelleenkiteytetyn tai CVD -piidarbidin luontaisten mekaanisten ja lämpöominaisuuksien vuoksi. Heidän erittäin alhainen lämmön laajennuskerroin varmistaa pienen lämpötilan tai vääristymisen nopean lämpöjakson vuoksi. Lisäksi korkea lämmönjohtavuus tarjoaa suurimman paikallisen lämpötilan homogeenisuuden kaikissa kiekkoissa, mikä on kriittinen kiekkojen väliselle konsistenssille kerrospaksuudessa, seostusprofiileissa ja sähkösuorituskyvyssä; Puolijohdeteollisuuden suuren määrän valmistuksen tärkeitä näkökohtia.

Verrattuna perinteisiin kvartsiveneisiin, sic -pystysuorat veneet tarjoavat erinomaisen mekaanisen lujuuden ja pidentyneen käyttöiän. Kvartsi pyrkii hauraiksi ja devitrifioimaan ajan myötä, etenkin aggressiivisissa uunin kemiassa, mikä johtaa korkeampiin korvauskustannuksiin ja mahdollisiin tuotantokatkaisuihin. Sitä vastoin piiharbidi ylläpitää eheyttään jopa pitkittyneen altistumisen jälkeen syövyttäville kaasuille, kuten kloorille, HCL: lle tai ammoniakille, jotka ovat yleisiä erilaisissa diffuusio- ja LPCVD -prosesseissa. Sen poikkeuksellinen kulumis- ja hapettumiskestävyys vähentää huomattavasti hiukkasten muodostumista, mikä auttaa suojaamaan kiekkojen pintoja saastumisesta ja vikojen muodostumisesta.

SIC-pystysuorat veneet tarjoavat myös merkittävän hyödyn erittäin puhdasta prosessoinnissa. Korkeasuhde-sic-materiaali käsitellään tiukassa ahkeruudessa vähentääkseen tunnistettavissa olevia hivenaineita, jotka voivat häiritä puolijohdelaitteiden toimintaominaisuuksia. SIC-pystysuorat venepinnat ovat hyvin viimeisteltyjä suorakulmaisilla ominaisuuksilla, jotka minimoivat mikrohiukkasten irtoamisen mahdollisuuden. SIC -pinnat ovat kemiallisesti inerttejä eivätkä reagoi prosessikaasujen kanssa, ja siksi ne ovat vähemmän alttiita saastumiselle. Tässä suhteessa sic -pystysuorat veneet sopivat hyvin viivan (FEOL) etuosaan ja viivan (BEOL) kiekkojen käsittelytoimintoihin.

SIC -pystysuorat veneet tarjoavat myös suunnittelun joustavuutta. Jokainen pystysuora vene voi olla suunnittelukohtainen, jotta mahtuu useiden kiekkojen halkaisijoille (150 mm, 200 mm tai 300 mm kiekkoja), ja paikan lukumäärää ja etäisyyttä voidaan käyttää prosessivaatimusten täyttämiseen. Tarkkuuskoneen ja ulottuvuuden hallinta mahdollistaa oikean kiekkojen kohdistuksen ja kiekkojen tuen minimoimalla mikrotaulukkojen tai jännityshalkeamien todennäköisyys kuormituksen, prosessoinnin ja purkamisen aikana. Lisäksi, jos tiettyyn prosessiin vaaditaan paremman lämpötilan yhtenäisyys ja / tai vähemmän lämpömassa, optimoidut geometriat ja paikkojen mallit voidaan sisällyttää sic -pystysuuntaisiin veneen kokoonpanoihin uhraamatta mitään mekaanisia ominaisuuksia.

Toinen etu on huolto- ja toiminnan tehokkuus. Jäykkä rakenneSicPystysuorat veneet vähentävät korvausaikaa ja taajuutta, minimoimalla seisokit tai omistamiskustannukset. SIC: n lämpöiskun vastus mahdollistaa lyhyemmät lämmitys- ja jäähdytyssyklit tuotantolinjoilla suuremman läpimenon. SiC -pystysuorien veneiden ylläpito tai puhdistus on myös hyvin yksinkertaista; Materiaali voi kestää tavanomaisia ​​märkä- tai kuivapuhdistusprosesseja, jotka ovat yleisiä puolijohdefebeissä, kuten kemiallisessa puhdistuksessa hapolla ja korkean lämpötilan leipomisella.

Tässä hienostuneen puolijohdevalmistuksen nykyaikana, jossa saannon parantaminen, saastumisen hallinta ja prosessin stabiilisuus ovat kaikki tärkeitä, sic -pystysuorat veneet tarjoavat todellisen teknisen edun. Ne käsittelevät hyvin pystysuuntaisten uunisovellusten fysikaalisia ja kemiallisia haasteita ja edistävät prosessien yleistä optimointia toimittamalla kiekkojen eheyden, johdonmukaiset tulokset ja laitteiden pidemmän käyttöikän.