Siciputket

Semicorex sic -putket ovat keraamisia osia puolijohdeuunijärjestelmille.  Niillä on ainutlaatuisia ominaisuuksia, jotka sisältävät korkean lämmönsiirron ja korkean lämpötilan ja kemiallisen resistenssin, jota vaaditaan puolijohtavissa sovelluksissa, joissa odotetaan äärimmäisiä korkean lämpötilan ja kemiallisia ympäristöolosuhteita ja joissa ominaisuudet ovat toivottavia - kestävyyttä, energiatehokkuutta ja ainutlaatuisia prosessiolosuhteita - jotka sallivat olla taloudellisia edistyneessä puolijohdevalmistusympäristössä.

Semicorex sic -putket käyttävät voimakkaan hienorakeistapiikarbidiTällä on valmistettu poikkeuksellinen korkean lämpötilan mekaaninen stabiilisuus edistyneiden sintraus- ja uudelleenkiteytysmenetelmien ja tekniikoiden seurauksena. Korkean suorituskyvyn SIC: n mahdollistaminen johtaa poikkeukselliseen mekaaniseen lujuuteen ja lämpöstabiilisuuden pidättämiseen korkeissa käyttölämpötiloissa. SiC: llä on poikkeuksellinen kovuus, joka lieventää kulumista tai potentiaalista muodonmuutosta.  Lisäksi SIC-ominaisuuksiin liittyvät ominaisuudet ovat alhaisen polttoaineen lämmön laajenemisen yhteistyötehokkuutta, koska ne rajoittavat lämpöjännitystä, koska tämän materiaalin pyöräilyä koskevat vaatimukset äärimmäisen korkean ja matalan käytön lämmön välillä. Kaikissa näissä näkökohdissa niillä on erityinen hyödyllisyys ihanteellisiin sovelluksiin diffuusiouuneissa, hapetusuunissa ja LPCVD/PECVD -järjestelmissä vakaan prosessiolosuhteen enimmäisolosuhteiden ylläpitämiseksi. Hyödyt ovat hyötyjä vikojen eliminoimiseksi tai rajoittamiseksi, jotka ovat myös kiekkoon tai materiaaliin liittyviä mittareita.

Toinen tärkeä SiC -putkien hyödyllisyys on korkeat lämmönjohtavuusprofiilit tietyissä olosuhteissa ja sovellettavat uunimallit korkean johtavan ja ratkaisevan ja tasaisen lämpötilan jakautumisen tuottamiseksi prosessissa.  Tämä luotettava käyttäytyminen sallii kiekkojen altistumisen puolitasolle lämpötilan jakautumiselle kohtuullisin aikavälein ja lisäksi rajoittaa lämpögradientteja vähentämään litteäpohjaisia ​​vääristyneitä ja/tai vikaantuneita kiekkoja parantaen samalla tasaisempia kalvon laskeutumisolosuhteita.

Kemiallinen stabiilisuus ja resistenssi on toinen tärkeä suorituskykykerroin.  Puolijohdeprosesseissa uuniputket ovat erittäin reaktiivisten kaasujen, mukaan lukien happi, vety, ammoniakki ja kaikkien halogeenien, vaikutukset, jotka voivat heikentää tavanomaisia ​​materiaaleja nopeasti. Tiheä ja ei-huokoinen mikrorakenne yhdessä SIC: n kemiallisesti inertin luonteen kanssa suojaa sitä hapettumiselta ja korroosiolta toimittaen samalla operatiivisen ja mekaanisen suorituskyvyn äärimmäisessä prosessiympäristössä.  SiC -uunien kestävyys auttaa heitä ylläpitämään muodon ja ulottuvuuden tarkkuuden eheyttä pitkien ajanjaksojen ajan, mikä on tärkeää prosessin hallinnassa ja vakaudessa.

SIC -putket voidaan valmistaa monenlaisissa kokoissa ja seinämän paksuuksissa, geometrisesti muotoiltuun uunimallien ja prosessitarpeiden sopimaan.  SIC -putkien suunnittelun ja tuotannon aikana ylläpidetään myös tarkkoja tarkkuusominaisuuksia siten, että operatiiviset toleranssit voivat olla tiukkoja, sileillä sisäpinnoilla ja erinomaisella samankeskisyydellä laminaarikaasun virtauksen tasapainon ylläpitämiseksi ja tasaisille lämpöprofiileille. Pinnan kiillotus ja pinnoitteet voidaan tarjota hoitovaihtoehdoina, jotka parantavat suorituskykyä vähentämällä hiukkasten muodostumista ja parantamalla korroosionkestävyyttä.

Sic -putkilla on selkeät toiminta- ja kustannusetuja verrattuna vaihtoehtoisiin materiaaleihin, kuten kvartsiin tai alumiinioksidiputkiin.  SiC -komponenttien alkuperäiset kustannukset saattavat olla hiukan korkeammat, mutta tuotteen käyttöikä, murtumisen väheneminen ja alhaisemmat ylläpitovaatimukset johtavat kokonaiskustannuksiin, jotka ovat alhaisemmat kustannukset kuin vaihtoehtoiset materiaalit ja putket.

Lopuksi, SemicorexSicPutket ovat paras vaihtoehto puolijohdeuunipisteisiin, koska ne tarjoavat parhaan lämmön suorituskyvyn, mekaanisen lujuuden, kemiallisen resistenssin ja luotettavuuden vaativille tuotantoympäristöille. Tämä materiaali parantaa prosessien vakautta ja auttaa tiellä varustettuja kustannussäästöjä ja tehokkuutta (ts. Alhaisempi energiankulutus). SIC -putket ovat perustavanlaatuinen materiaali modernin puolijohteiden valmistukseen.