Vaakasuora kammiouuni sic -veneet

Semicorex-vaakasuora kammion uunin sic-veneet ovat erittäin suunnitelluilla osalla, joka pitää ja kuljettaa kiekkoja tai substraatteja, kun ne altistetaan korkean lämpötilan lämpökäsittelyyn vaakakammiouunissa. Kiekkovene on valmistettu erittäin puhtaasta sic-sidotusta Piharbidi (sic), joka tarjoaa ainutlaatuisen lujuuden, lämpöstabiilisuuden ja korkean kemiallisen resistenssin yhdistelmän, jota vaaditaan puolijohde-, aurinkosähkö- ja edistyneissä keramiikkaprosesseissa. Kiekkovene toimii myös jäykkänä rakenteena kiekkojen pitämiseksi paikoillaan, kiekkojen ulottuvuuden vakautta ja tarkkuutta ei menetetä laajennetulla altistumisella äärimmäisille prosessien lämpötiloille.

Piharbidin erinomaiset ominaisuudet tarjoavat vaakakammion uunin sic -veneet ylivoimaisen suorituskyvyn edun verrattuna kiekkoveneiden, kuten kvartsin tai alumiinioksidin tyypillisiin materiaaleihin. Ne kestävät paremmin harvinaisia ​​lyhytaikaisia ​​lämmitys- ja jäähdytyssyklejä niiden korkean sulamispisteen, lämpöhunkinnan ja mekaanisen lujuuden vuoksi lämmityksen ja jäähdytyksen nopeudesta tai lämpösyklin äärimmäisyyksistä. Koska vaakasuuntainen uuni riippuu kokonaan kiekkojen asemien johdonmukaisuudesta ja prosessiolosuhteiden altistumisesta, kiekkojen asianmukainen kohdistus tarjoaa johdonmukaisen prosessin saannon ja toistettavuuden. Lämpölaajennuksen alhainen kertoimet tarkoittavat, että vene ei vääristä sen käyttöiän yli ja tarjoavat kiekkojen säilytetyn muodon ja etäisyyden.

Uudelleenkiteytetyn SIC: n hienorakeinen, tiheä rakenne tarjoaa huomattavan vastustuskyvyn hapettumiselle, korroosiolle ja saastumiselle prosessikaasujen ja sivutuotteiden avulla. Tämä tekee veneestä erityisen edullisen aggressiivisten ilmakehän prosesseissa, kuten diffuusio, hapettuminen, LPCVD ja hehkutus. SIC: n korkea kemiallinen inertti välttää reaktiot kiekkojen pintojen kanssa säilyttäen siten tuotteen puhtauden ja minimoivat hiukkasen muodostumisen uunissa. SIC -veneet voivat auttaa valmistajia, joiden on täytettävä tiukat puhtausvaatimukset, tarjoamalla puhtaampia käsittelyympäristöjä ja parannetun kiekkojen laatua.

Nämä veneet voidaan tuottaa erilaisilla monimutkaisilla geometrioilla ja osiospesifisillä mittoilla tarkkuus- ja muotoilutekniikoilla. Suunnittelut käyttävät yleensä useita rinnakkaisia ​​rakoja/uria, jotta kiekot pitävät tiukasti vaakasuunnassa ja paljastamaan tasaisesti koko kiekkojen pinnan lämpöolosuhteisiin. Aukko-elo-etäisyys ja kulmat voidaan myös optimoida muihin halkaisijoiden, kuten 150 mm, 200 mm tai 300 mm, kiekkoihin ja suoran ilmavirran prosessointivaikutusten aikana samalla kun lämpötilan tasaisuus prosessointiin.

Vaakakammion uunin SIC-veneet voidaan vain suunnitella tavanomaisina lähtökohdissa, vaan ne voidaan suunnitella toimimaan automatisoitujen kiekkojen kuormaimien kanssa, mikä johtaa saumattomaan integrointiin nykyaikaiseen korkean suorituskyvyn tuotantolinjoihin. Vahva suunnittelu tekee myös veneistä vähemmän todennäköisemmin sirun tai rikkoutumisen käsittelyn aikana ja vähentämään seisokkeja ja korvauskustannuksia.

Lämmönjohtavuuspiikarbidiedustaa toista keskeistä etua, joka helpottaa tehokasta lämmönsiirtoa kiekkojen ja uunin ympäristön välillä. Etuna on, että valmistajat kykenevät saavuttamaan yhtenäisemmat käsittelyolosuhteet ja lyhentämään sykliä, mikä voi lisätä tuotannon tehokkuutta. SIC -veneet tarjoavat johdonmukaisia ​​ja toistettavia tuloksia, käytetäänkö niitä puolijohteiden kiekkojen valmistukseen, aurinkokennojen valmistukseen tai muihin edistyneisiin materiaalien käsittelyyn kohonneissa lämpötiloissa.

Yhteenvetona voidaan todeta, että vaakasuora kammion uunit SIC-veneet ovat avainkomponentti valmistajille, jotka haluavat tuottaa kiekkoja, joilla on korkean suorituskyvyn, pitkäaikaisen ja saastumisen kestävät kiekkojen kantajat. Sillä on mekaaninen lujuus, lämpöstabiilisuus ja kemiallinen inertti, joka on vertaansa vaakasuorassa uunien sovelluksissa. Valitsemalla piikarbidiveneitä, operaattorit voivat hyödyntää parempaa prosessinhallintaa, korkeammat saannot ja minimoida ylläpidon aiheuttamat toiminta keskeytykset. Kaiken kaikkiaan se tarjoaa tehokkaampia, kustannustehokkaampia tuotantoja.