Piikarbidin ICP-etsauslevy

Piikarbidin ICP-etsauslevyon pätevä tarjoamaan vakaan tuen ja tarkan sijoituksen kiekkoille etsausoperaatioissa, mikä estää tehokkaasti tärinän tai siirtymän aiheuttaman syövytyksen tarkkuuden heikkenemisen.

Piikarbidin ICP-etsauslevyllä on lämmönhallintaominaisuudet. Ylivoimainen lämmönjohtavuusSIC keramiikkaantaa Silicon Carbide ICP -etsauslevylle kyvyn nopeasti haihduttaa lämpöä, mikä auttaa estämään työkappaleen paikallista ylikuumenemista ja varmistamaan etsauslämpötilan tasaisuuden, mikä parantaa etsauksen laatua. SiC-keramiikassa on alhainen lämpölaajenemiskerroin, mikä mahdollistaa piikarbidin ICP-etsauslevyn ylläpitämisen hyvän mittavakauden ja vähentää lämpölaajenemisen aiheuttamaa työkappaleen siirtymää tai muodonmuutosta.

Erinomaisiin kovuus- ja lujuusominaisuuksiinsa luottaen piikarbidin ICP-etsauslevy osoittaa kyvyn sietää etsausprosessin aikana kohdattavaa mekaanista rasitusta ja plasmaiskua minimaalisella muodonmuutoksella tai vaurioilla. Tämä kyky parantaa tehokkaasti puolijohdelaitteiden tuottoa ja tuotantotehokkuutta.

ICP-toimintaympäristö edellyttää puolijohdetason puhtautta. Semicorexin piikarbidi-ICP-etsauslevy täyttää tämän vaatimuksen täysin ja tarjoaa poikkeuksellisen kestävyyden ICP-etsausympäristöjen kemiallisia kaasuja (kuten klooria ja fluoria) ja plasmaa vastaan. Tämä merkittävä ominaisuus pitää prosessiympäristön puhtaana vähentämällä etsauksen aikana vapautuvien epäpuhtauksien määrää.

Semicorex asettaa etusijalle käyttäjien mukavuuden tarjoamalla räätälöityjä piikarbidin ICP-etsauslevyjä, jotka integroituvat saumattomasti olemassa oleviin ICP-etsausjärjestelmiin ja ovat yhteensopivia eri kokoonpanojen kanssa. Tämä mahdollistaa sujuvan siirtymisen, mikä tekee siitä ihanteellisen päivitysratkaisun laitevalmistajille.