SiC-suskeptori MOCVD:lle

Semicorex on johtava SiC Susceptor for MOCVD:n valmistaja ja toimittaja. Tuotteemme on erityisesti suunniteltu palvelemaan puolijohdeteollisuuden tarpeita epitaksiaalisen kerroksen kasvattamisessa kiekon sirulle. Tuotetta käytetään MOCVD:n keskilevynä hammaspyörän tai renkaan muotoisena. Sillä on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, mikä tekee siitä ihanteellisen käytettäväksi äärimmäisissä ympäristöissä.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

SiC Susceptor for MOCVD on huippulaatuinen tuote, jolla on useita keskeisiä ominaisuuksia. Se varmistaa pinnoitteen kaikille pinnoille, välttäen irroitumista, ja sillä on korkean lämpötilan hapettumiskestävyys, mikä varmistaa stabiilisuuden jopa korkeissa lämpötiloissa jopa 1600 °C:een. Tuote on valmistettu erittäin puhtaalla CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa. Siinä on tiheä pinta, jossa on hienojakoisia hiukkasia, mikä tekee siitä erittäin kestävän happojen, emästen, suolan ja orgaanisten reagenssien aiheuttamaa korroosiota vastaan.
SiC Susceptor for MOCVD on suunniteltu takaamaan parhaan laminaarisen kaasuvirtauskuvion, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Se estää kontaminaation tai epäpuhtauksien leviämisen varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekkosirussa.

SiC Susceptorin parametrit MOCVD:lle

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

SiC Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen