Semicorex-piikarbidiistukat on suunniteltu erityisesti valolitografialaitteita varten, ja niillä on useita etuja, kuten suuri tarkkuus, erittäin kevyt paino, korkea jäykkyys, alhainen lämpölaajenemiskerroin ja erinomainen kulutuskestävyys.
Semicorexpiikarbidiistukatovat toiminnallisia adsorptiolaitteita, joista on valmistettupiikarbidi(SiC) keraaminen materiaali. Niitä käytetään pääasiassa puolijohteissa, aurinkosähköissä, tarkkuusvalmistuksessa ja muissa skenaarioissa, joissa on erittäin korkeat vaatimukset korkeiden lämpötilojen kestävyydelle, kulutuskestävyydelle, kemiallisen korroosionkestävyydelle ja materiaalien puhtaudelle.
SiC-keraaminen materiaali kestää korkeita lämpötiloja ja säilyttää rakenteellisen vakaumuksensa korkeissa lämpötiloissa. Sen erinomainen lämmönjohtavuus mahdollistaa sen, että se hajottaa nopeasti adsorption aikana syntyneen lämmön, mikä estää työkappaleen ylikuumenemisen. Materiaalin poikkeuksellinen kovuus tekee siitä sopivan tarttumaan karkeisiin tai koviin työkappaleisiin. Lisäksi SiC-keraamimateriaalin kemiallinen inertti tekee siitä kestävän vahvojen happojen, vahvojen alkalien ja orgaanisten liuottimien aiheuttamaa korroosiota vastaan. Tämän materiaalin alhainen epäpuhtauksien saostuskyky välttää epäpuhtauksien kontaminaatiota ja pidentää laitteiden normaalia toiminta-aikaa täyttäen puolijohdeteollisuuden ultrapuhtausvaatimukset.
Semicorex-piikarbidiistukkaiden tyypillisiä ominaisuuksia
1.Suuri tarkkuus: tasaisuus on 0,3-0,5 μm.
2. Peilin kiillotus
3. Ultrakevyt
piikarbidiistukat
5. Alhainen lämpölaajenemiskerroin
6. Erinomainen kulutuskestävyys
Sovellus skenaariot piikarbidiistukat
Puolijohteiden valmistus
Kiekkojen siirto ja prosessointi: Prosesseissa, kuten fotolitografia ja syövytys, kiekko on adsorboitava vakaasti tyhjiöympäristössä siirtymävirheiden välttämiseksi.
Plasman korroosionkestävyys: Puolijohteiden etsausprosessissa erinomainen korroosionkestävyys voi pidentää tuotteen käyttöikää.
Aurinkosähkökennojen tuotanto
Piikiekkojen leikkaus: Adsorboi piikiekkoja vastustaakseen leikkausvärähtelyä ja vähentääkseen piikiekkojen sirpaloitumisnopeutta.
Tarkkuusoptiikan ja elektroniikan valmistus
Safiirisubstraatin käsittely: LED-sirun valmistuksessa käytettävät safiirisubstraatit vaativat tyhjiöadsorptiota. Adsorptiovoiman on voitettava alustan paino ja vältettävä tuotteen pinnan naarmuuntumista.
Piikarbidiistukkaista on tullut keskeisiä kulutusosia huippuluokan valmistuksessa niiden erinomaisen suorituskyvyn ansiosta, mikä edistää teknologista kehitystä sellaisilla aloilla kuin puolijohteet, aurinkosähkö ja resistiovalmistus.