Semicorex -huokoiset alumiinioksidit ovat mikrohuokoisia mustia alumiinioksidi -tyhjiölaitteita, joiden huokoisuus on 35–40%, jotka on suunniteltu tarjoamaan tasainen imu ja turvallinen kiekkojen käsittely puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen tarkoittaa luotettavaa keraamista tekniikkaa, erinomaista materiaalin laatua ja johdonmukaista suorituskykyä, jotka suojaavat saannon ja prosessin vakauden.*
Semicorex-huokoiset alumiinioksidit ovat tarkoitukseen rakennettu herkimpiin kiekkoihin. Niiden huokoinen muotoilu tarjoaa varmuuden tasaisesta tyhjiöjakaumasta istukan pinnan yli, mikä varmistaa vähentyneen paikallisen stressin ja auttaa estämään reunan siristumista ja rikkoutumista. Mekaaninen kiinnitys (kiinteä tai muuten) ei ole yhtä tehokas kuin mikrohuokoinen verkko, joka pitää jopa herkän kiekon ilman rajoittavaa mekaanista jännitystä samalla kun kiekko kiinnittää turvallisesti, koska mikrohuokoinen rakenne estää kulumista ja tarjoaa lempeän pidätyksen. Yhdenmukaisen adsorption tarve koko istukan pinnalla on erityisen kriittinen suurempien ja ohuempien kiekkojen kannalta, jotka voivat sietää paljon vähemmän stressiä automatisoidun käsittelyn aikana ja suorittaessaan suuria tarkkuuskäsittelyvaiheita.
35–40%: n huokoisuuden optimoidun kanssa istukka kehittää liittävien huokosten verkon, joka palvelee ilmaa evakuoimaan samalla kun tarjoavat riittävästi mekaanista lujuutta kiekon pitämiseksi paikallaan prosessivoimia vastaan. Tämä tarkoittaa, että tyhjiön pidätysvoima pysyy vakaana liikuttaen kiekkoja, jopa nopeasti peräkkäin, samalla kun suoritetaan monimutkainen prosessisekvenssi. Adsorptio mikrohuokoisessa verkossa tarjoaa enemmän vakautta kuin yksinkertaisesti luomalla erojen eroja tyhjiöjärjestelmässä.
Musta alumiinioksidi (al₂o₃), itsessään on lopullinen materiaali, koska se on kova, kulutuskestävä ja kemiallisesti inertti. Se ei heikennä mitään huomattavaa pintaa, ja siihen ei vaikuta kiekon toistuvien syklien kautta (sijoitus/ tyhjiödsorptio/ jäähdytys). Mustaalumiinioksoon ulottuvuuden vakaa, siksi ei muutu huolimatta lämpötilan muutoksista, jotka tapahtuvat luonnollisesti prosessin (lämmityksen ja jäähdytyksen) tai ympäristön aikana.
Kemiallinen vastus on Mustan alumiinioksidin toinen keskeinen etu. Istukka voi toimia aggressiivisessa puhdistus-, plasma- ja etsausympäristössä vaarantamatta sen rakenteellista eheyttä. Sen inertti estää kiekkojen pinnan saastumisen, varmistaen, että puhdasta puhtauden ja puhtaan huoneen standardien noudattamisen.
Mikrohuokoinen rakenne tarjoaa myös tukevan pinnan, joka lievittää jännityspitoisuutta ohuille ja hauraille kiekkoille. Julkaisussa, jolla on tarkka pinnan tasaisuus ja sileä pintapinta, huokoiset alumiinioksidit minimoivat mikrohalkeiden ja naarmujen esiintymisen, joka voisi vaarantaa kiekon eheyden käsillä.
AlumiiniohjelmaSiinä on loistava kovuus, korkea mekaaninen lujuus, alhainen lämpökerroin laajentumiskerroin ja erinomainen lämpöstabiilisuus, mikä tekee siitä käytännöllisen materiaalin tarkkuuspuolisolusovellukseen. Lisäksi sen kemiallinen inertti tarkoittaa, että se kestää happoja, alkalia ja plasmaa, kun taas kulutuskestävän ominaisuudet varmistavat kestävyyden, nämä edut tekevät alumiinioksidista valittujen materiaalien mikrohuokoisten tyhjiöpoikien kanssa ja tarjoavat sekä luotettavuuden että suorituskyvyn ennustettavuuden.
Yhteenvetona voidaan todeta, että huokoiset alumiinioksidit on suunniteltu toimittamaan tasainen ja selviytyvä kiekkojen käsittely. Sen mikrohuokoinen musta alumiinioksidirakenne tarjoaa jopa tyhjiön adsorptiota (yhtenäisyyttä) minimoimalla mekaaninen jännitys ja kiekkovaurioiden vähentäminen. Puckina merkittävä ja optimaalinen huokoisuus yhdessä erinomaisten lämpö-, mekaanisten ja kemiallisten ominaisuuksien kanssa auttaa optimoimaan kiekkojen turvallisuuden, arvon ja toiminnan luotettavuuden ankarissa valmistusolosuhteissa. Erinomainen yhdistelmä vankkaa, yhtenäistä ja turvallista käsittelyä, että huokoiset alumiinioksidit voivat tarjota valmistajille yksinkertaisesti harvinaisia ja ainutlaatuisia.