Al2o3 tyhjiö istukka

Semicorex al₂o₃ tyhjiöpoikat ovat tarkkuusmahdollisia keraamisia komponentteja, jotka on kehitetty puolijohdeteollisuudessa kiekkojen käsittelyyn, kiinnitys- ja prosessointisovelluksiin. Valmistettu mustasta alumiinioksidista, jonka hallittu huokoisuus on 35%-40%, se on erittäin vakaa, puhdas ja luotettava väliaine tyhjiön adsorptioprosesseille. Chuck yhdistää substraatin keraamisen prosessoinnin funktionaaliseen pintaan käyttämällä edistyneitä valmistustekniikoita, jotta käyttäjän hauras kiekko on johdonmukainen imun suorituskyky kriittisten prosessivaiheiden aikana.

Mustaalumiinioksidi (al₂o₃); on ainutlaatuinen mekaanisen lujuuden, kovuuden ja kemiallisen resistenssin tasapaino metalleihin ja polymeereihin verrattuna. Mikrohuokoinen rakenne on optimoitu hallittuun huokoisuuteen tasaisen tyhjiöjakauman aikaansaamiseksi tyhjiön istunnon pinnalla. Johdonmukainen tyhjiöjakauma koko kiekon istukan koko pinta -alalla minimoi paikalliset stressipitoisuudet rajoittaen kiekkojen vääristymisen, reunan sirumisen ja rikkoutumisen riskiä. Kun kiekkojen valmistus jatkuu halkaisijaltaan ja geometrioista ja laitteista tulee hauraita, prosessin saanto ja parannettu kiekkojen käsittely luotettavuudesta tulee kriittisiä vaatimuksia.

35–40%: n hallittu huokoisuus edustaa tämän tyhjiön istunnon avainominaisuutta. Optimoitu huokosverkko voi minimoida turbulenssin huokosalueelta ja ylläpitää pitovoimaa säilyttäen samalla mekaanisen lujuuden ja kestävyyden. Sitä vastoin mekaaniset puristimet käyttävät levyjä, jotka aiheuttavat paikallisia jännityspisteitä ja toimivat yksittäisen kiekon mekaanisia ominaisuuksia vastaan. Mikrohuokoinen alumiinioksidipinta on siksi parempi pitää kiekkoja tasaisina ja epäjohdonmukaisesti mekaanisten lähestymistapojen aikana. Tämä tekee täydellisen ehdokkaan korkean teknologian puolijohdeprosesseihin, jotka hyötyvät kiekkojen tasaisuudesta ja sileästä pitoisuudesta, mukaan lukien litografia, etsaus, laskeuma ja metrologia.

Lämpöperspektiivistä mustalla alumiinioksidimateriaalilla on erinomainen tämä kyky ylläpitää mittakautta kohonnut lämpötilan aikana. Alhaisella lämpölaajennuskertoimella tyhjiöpoika pystyy pysymään tarkkoina jopa lämmitys- ja jäähdytyssyklien aikana, mikä on kriittinen näkökohta nopeasta lämpötilan vaihtelusta, jota usein esiintyy kiekkojen prosessointiympäristöissä. Tämän keraamisen kovuuden ja kulumisvastuksen lisäävät myös istukan pitkäikäisyyttä, vähentämällä laiteoperaattorien huoltotaajuutta ja vähentämällä omistajuuden kokonaiskustannuksia.

Alumiinioksidikeramiikan kemiallinen inertti on jälleen yksi merkittävä ominaisuus. Puolijohdefebeissä laitteiden komponentit tarvitsevat sietämään aggressiivisia kemikaaleja, puhdistusaineita tai plasmaympäristöjä ilman heikkenemistä. Mustalla alumiinioksidilla on erinomaiset ominaisuudet korroosion, hapettumisen ja/tai pintakontaminaation vastustamiseksi, ja siten säilyttää rakenteen ja rakenteellisen/vaiheittaisen stabiilisuuden viritetyn käyttöjakson aikana. Tämä ominaisuus tarkoittaa myös sitä, että kiekkoja ei ole saastunut, joka suojaa piiriä laitteiden suorittamisesta ja luottaa myös puhdashuoneprotokolliin.

Al₂o₃ -tyhjiöpoikalla ei ole vain erinomaista funktionaalista suorituskykyä, vaan myös pintapinta on tiukasti ohjattu. Viimeistely luodaan käyttämällä tarkkaan työstö- ja kiillotusprosesseja, jotka tuottavat tasaisen tasaisuuden ja sileyden, jotta herkät kiekot voidaan pitää ilman naarmuja tai pintavaurioita. Materiaalin erittäin suunniteltu huokoisuus tuottaa sopivan tasapainon imun ja pintasuojan välillä, mikä mahdollistaa kiekon riittävän pitovoiman, välttäen samalla ohuille, hauraille substraateille mahdolliset vauriot.

Operatiivisesta näkökulmasta Al₂o₃ -tyhjiöpoikut ovat kriittisiä komponentteja nykyaikaisessa puolijohdevalmistuksessa. Se helpottaa automaatiota, jolloin kiekot voidaan poimia, sijoittaa, kohdistaa ja käsitellään, tyydyttää prosessivaatimukset luotettavasti. Alumiinioksidin musta väri auttaa myös ja tarjoaa käytännöllisiä etuja vähentämällä valon heijastusta optisten tarkastusten ja mittausprosessien aikana, etenkin jos käytetään tarkkaa optisia laitteita.

Yhdistämällä edistyksellinen keraaminen tekniikka ja hyvin harkittu muotoilu on tuottanut Al₂o₃-tyhjiöpoikakalvoissa pitkäaikaisen korkean suorituskyvyn ratkaisun puolijohdevalmistajien kiekkojen käsittelyhaasteisiin. Al₂o₃ -tyhjiöpoikut parantaavat tuottavuutta vähentyneen kiekkojen menetyksen kautta, vähentää seisokkeja kestävyyden vuoksi ja parantaa prosessien vakautta tarjoamalla tasaisen tyhjiön pidätysvoiman.

Semicorex al₂o₃ tyhjiöpoikut, jotka on valmistettu mikrohuokaisesta mustastaalumiinioksoon enemmän kuin vain kiinnitys; Se on kriittinen tarkkuuden puolijohdevalmistuksen mahdollistaja. Optimoidulla huokoisuudellaan, poikkeuksellisilla materiaalien ominaisuuksilla ja vankalla suorituskyvyllä se varmistaa luotettavan kiekkojen käsittelyn vaativimpiin valmistusprosesseihin. Valmistajille, jotka pyrkivät saavuttamaan korkeamman saannon, parantuneen prosessitehokkuuden ja erinomaisen laitteiden suorituskyvyn, musta alumiinioksidi -tyhjiöpoika on välttämätön valinta.