Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex SiC-tyhjiöskyselyt ovat korkean suorituskyvyn keraamista kiinnitystä, joka on suunniteltu turvalliselle kiekkojen adsorptiolle puolijohteiden valmistuksessa. Ylivoimaisten lämpö-, mekaanisten ja kemiallisten ominaisuuksien avulla se varmistaa stabiilisuuden ja tarkkuuden vaativissa prosessiympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex PBN -komposiittilämmittimet ovat edistyneitä lämmityselementtejä, jotka on suunniteltu korkean lämpötilan, erittäin puhdas tyhjiöympäristöihin, joita käytetään laajasti puolijohde-, optoelektroniikassa ja materiaalitutkimusteollisuudessa. Valitse Semicorex alan johtavan asiantuntemuksen, pienen räätälöinnin ja maailmanluokan laadun PBN-lämmitysratkaisuissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -konsolin melat ovat korkean suorituskyvyn piikarbidi-ulottimen melat, joita käytetään puolijohteiden lämpökäsittelylaitteissa, jotka on suunniteltu vakaan kiekkojen käsittelyyn korkean lämpötilan ympäristöissä. Semicorexin valitseminen tarkoittaa korkeatasoista materiaalia, erinomaista lämpöstabiilisuutta ja teollisuuden johtavaa tarkkuusvalmistustekniikkaa varmistaaksesi, että jokainen kriittinen prosessi on vakaa ja luotettava.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex -sic -veneenpidikkeet ovat välttämättömiä rakenteellisia komponentteja, jotka varmistavat tarkan ja luotettavan kiekkojen sijoittamisen puolijohdekappaleen lämpökäsittelyssä. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevaa laatua, teknistä asiantuntemusta ja sitoutumista korkean puhtaan sic-ratkaisujen edistämiseen puolijohteiden valmistuksessa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-kiekkoveneet ovat tarkkuussuunniteltuja keraamisia kantajia, jotka on suunniteltu korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyyn puolijohteiden valmistuksessa. Valitse Semicorex sen vertaansa vailla olevan materiaalin puhtaudella, edistyneellä valmistustekniikalla ja sitoutumisella laatuun, joka varmistaa yhdenmukaisen suorituskyvyn vaativimmissa puhdistushuoneympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-sic-putket ovat piikarbidiuuniputkia, jotka on suunniteltu puolijohde-korkean lämpötilan prosesseille, joilla on erinomainen lämpöstabiilisuus ja kemiallinen korroosionkestävyys. Semicorex-korkean puhtaan raaka-aineiden, tarkkuuden valmistusprosessien ja pitkäaikaisten luotettavuustakuiden valitseminen puolijohdevalmistusprosessisi tukemiseksi.*
Lue lisääLähetä kysely