Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex CCB -jarrut (hiilikeramiset jarrut päällystetyllä kitkakerroksella) edustavat seuraavaa korkean suorituskyvyn jarrutusratkaisuja, jotka on suunniteltu äärimmäisen kestävyyden, lämmönvakauden ja johdonmukaisen jarrutuksen kannalta vaativimmissa olosuhteissa. Valitse Semicorex asiantuntemustaan edistyneistä keraamisista komposiitteista ja tarkkuussuunnittelemista pinnoitustekniikoista.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex CCM -jarrut, jotka on valmistettu edistyneistä hiili-keraamisista matriisimateriaaleista, ovat ihanteellinen ratkaisu korkean suorituskyvyn jarrutukseen äärimmäisissä ajoympäristöissä. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevalle asiantuntemuksellemme keraamisesta komposiitesuunnittelusta, tarkkuusvalmistuksesta ja sitoutumisesta johdonmukaisen, rodun todistetun laadun toimittamiseen.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-keraamiset komposiittilämmittimet tarjoavat erittäin puhdasta, korkean tehokkaan lämmityksen suorituskyvyn korkean lämpötilan sovelluksille. Valitse Semicorex teollisuuden johtavan materiaalin puhtauden, tarkkuustekniikan ja luotettavan räätälöinnin tukeman vuosien asiantuntemuksen tukemana edistyneessä keraamisessa tekniikassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex PBN -lämmitin tarjoaa erittäin puhdasta, korkean lämpötilan suorituskykyä, joka on ihanteellinen puolijohde-, kidekasvulle ja tyhjiösovelluksille. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevan materiaalin puhtauden, tekniikan tarkkuuden ja luotettavan toimituksen, johon johtavat globaalit valmistajat luottavat.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -keraamiset veneet tarjoavat optimaalisen yhdistelmän puhtautta, lujuutta, lämpövastusta ja mittatarkkuutta, jota tarvitaan nykyaikaisen puolijohdekiekkojen prosessoinnin tiukkoihin vaatimuksiin. *
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-sic-robotin kädet ovat erittäin tarkkaa, erittäin puhdasta loppututkimuksia, jotka on suunniteltu turvalliselle ja luotettavalle kiekkojen siirtämiselle puolijohteiden valmistuksessa.Koose puolikorex alan johtavaa asiantuntemusta edistyneessä keramiikassa, toimittaen erinomaisen suorituskyvyn, puhtauden ja räätälöinnin, joihin toppi Semonductor FABS: n luottaminen ympäri maailmaa.**
Lue lisääLähetä kysely