Semicorex tarjoaa kiekkoveneitä, jalustoja ja mukautettuja kiekkotelineitä sekä pysty-/pylväs- että vaakakokoonpanoihin. Olemme olleet piikarbidipinnoituskalvojen valmistaja ja toimittaja useiden vuosien ajan. Piikarbidikeraamisella kiekkoveneellämme on hyvä hintaetu ja se kattaa suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Semicorex-piikarbidikeraaminen kiekkovene, paras ratkaisu kiekkojen käsittelyyn ja suojaamiseen puolijohteiden valmistuksessa.
Piikarbidikeraaminen kiekkoveneemme on valmistettu korkealaatuisesta materiaalista, joka on päällystetty piikarbidikerroksella (SiC) käytetyllä CVD-menetelmällä, jolla on hyvä korroosionkestävyys ja erinomainen korkeiden lämpötilojen ja lämpöiskujen kestävyys. Edistyksellinen keramiikka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja plasman kestävyyden samalla, kun se vähentää hiukkasia ja epäpuhtauksia suurikapasiteettisissa kiekkotelineissä.
Piikarbidikeraamisen kiekkoveneen parametrit
Tekniset ominaisuudet |
||||
Indeksi |
Yksikkö |
Arvo |
||
Materiaalin nimi |
Reaktiosintrattu piikarbidi |
Paineton sintrattu piikarbidi |
Uudelleenkiteytetty piikarbidi |
|
Koostumus |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Bulkkitiheys |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Taivutusvoima |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Puristusvoima |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Kovuus |
Painike |
2700 |
2800 |
/ |
Sitkeys rikkoo |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Lämmönjohtavuus |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Lämpölaajenemiskerroin |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Ominaislämpö |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Max lämpötila ilmassa |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastinen moduuli |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Ero SSiC:n ja RBSiC:n välillä:
1. Sintrausprosessi on erilainen. RBSiC:n tarkoituksena on tunkeutua vapaasti piikarbidiin alhaisessa lämpötilassa, SSiC muodostuu luonnollisella kutistumalla 2100 asteessa.
2. SSiC:llä on tasaisempi pinta, suurempi tiheys ja suurempi lujuus. Joillekin tiivisteille, joilla on tiukemmat pintavaatimukset, SSiC on parempi.
3. Erilainen käyttöaika eri pH:ssa ja lämpötilassa, SSiC on pidempi kuin RBSiC
Keraamisen piikarbidikiekkoveneen ominaisuudet
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.