Semicorex-piikarbidi keraamiset ulokemelat ovat korkean suorituskyvyn ulokerakennekomponentteja, jotka on valmistettu tarkasti erittäin puhtaasta piikarbidista. Piikarbidin keraamiset ulokelapamme ovat optimaaliset ratkaisut kiekkojen kuljettamiseen ja kuljettamiseen, ja ne on suunniteltu erityisesti huippuluokan puolijohdekiekkojen valmistukseen ja aurinkokennojen tuotantoon.
Semicorexpiikarbidi keraamiset ulokelapatvalmistetaan sintraamalla korkeassa lämpötilassa yksivaiheinen 3D-painettu vihreä kappale, jota seuraa pinnoituskäsittely kemiallisen höyrypinnoituksen avulla. Varsinaisen toiminnan aikana mekaaniset automaatiojärjestelmät käyttävät piikarbidin keraamisia ulokesiipiä, jotta kiekkoja kuljettavat komponentit siirretään tasaisesti ja tasaisesti korkean lämpötilan prosessointilaitteisiin (kuten hapetusuuneihin, diffuusiouuneihin, CVD-uuneihin jne.) ja niistä pois. Nämä piikarbidikomponentit voivat tehokkaasti varmistaa kiekkojen ja uuniputkien välisen samankeskisyyden tarkkuuden, mikä takaa prosessin tasaisuuden ja vakauden kriittisten prosessien, kuten diffuusion, hapettumisen ja kemiallisen höyrysaostuksen, aikana.
1. Alhainen saasteteho:
Semicorexpiikarbidikeraamiset ulokesiivekkeet, jotka on käsitelty erittäin tarkasti, täyttävät pölyttömät ja hiukkasvapaat standardit. Niiden matriisien epäpuhtauspitoisuus on tiukasti valvottu alle 300 ppm:n, ja CVD-piikarbidipinnoitteen epäpuhtauspitoisuus on jopa alle 5 ppm.
2. Korkean lämpötilan vakaus:
Piikarbidin erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja lämpöiskunkestävyyden ansiosta Semicorex-piikarbidin keraamiset ulokelapat voivat säilyttää rakenteellisen vakaumuksensa pidempään korkeissa lämpötiloissa jopa 1250 °C:een ilman, että ne muodostuvat, pehmenevät tai vaurioituvat korkean lämpötilan aiheuttamana.
3. Poikkeuksellinen kantavuus:
Semicorex-piikarbidin keraamiset ulokesiivekkeet tarjoavat poikkeuksellisen kuormituskapasiteetin, jotka hyötyvät niiden ainutlaatuisesta rakenteesta ja ylivoimaisista materiaaliominaisuuksista (korkea mekaaninen lujuus ja kovuus). Poikkeuksellisen kuormituskyvyn ansiosta ne kestävät suurien kiekkoerien painon massatuotannon tarpeisiin, mikä tehostaa tehokkaasti kiekkoeräkäsittelyä.
4. Huomattava korroosionkestävyys:
Semicorex-piikarbidin keraamiset ulokelapat osoittavat erinomaisen korroosionkestävyyden happea, klooria ja muita korroosiota aiheuttavia aineita vastaan, joita esiintyy korkeissa lämpötiloissa puolijohteiden ja aurinkosähköjen valmistusprosesseissa. Tämä ylivoimainen suorituskyky on ratkaisevan tärkeä tuotantoprosessien sujuvan toiminnan varmistamiseksi välttämällä piikarbidikeraamisten ulokepäiden vaurioitumisen aiheuttamat häviöt ja aika.