Piiharbidivene

Semicorex -piikarbidiveneillä on poikkeuksellinen lämpöstabiilisuus, jolloin ne kestävät hapettumis- ja diffuusioprosesseihin tarvittavat äärimmäiset lämpötilat. Heidän erinomainen lämpöiskäresistenssi minimoi halkeilun tai muodonmuutoksen riskin varmistaen pitkittyneen toiminnan pitkäikäisyyden. Korkean tiheyden sic-koostumus tarjoaa paremman mekaanisen lujuuden, ylläpitäen rakenteellista eheyttä jopa jatkuvassa lämpösyklissä. Tämä poikkeuksellinen mekaanisen jännityksen vastus vähentää kiekkojen saastumisen ja rikkoutumisen todennäköisyyttä, mikä edistää korkeampien prosessien saannon. Lisäksi SIC -veneillä on erinomainen kemiallinen vastus, joka on jäljellä hapettumisessa ja diffuusiovaiheissa käytettyihin aggressiivisiin prosessikaasuihin. Tämä ominaisuus estää ei -toivottuja reaktioita, jotka voivat vaarantaa kiekkojen puhtauden ja tuotannon tehokkuuden.

Piharbidiveneitä käytetään pääasiassa hapettumis- ja diffuusiouuneissa, joissa kiekkojen tarkka säätö korkeille lämpötiloille ja reaktiivisille kaasuille on välttämätöntä. Ne tukevat kiekkoja lämmön hapettumisen aikana kasvattaakseen korkealaatuisia piisidioksidikerroksia ja helpottavat tasaista dopingia säädetyn altistumisen avulla lisäainekaasuille. Lisäksi ne tarjoavat vakaan alustan hehkutus- ja muihin korkean lämpötilan käsittelyihin, jotka vaativat pitkittynyttä lämpöaltistusta.

Verrattuna perinteisiin kvartsiin ja grafiittiveneisiin, piikarbidiveneet tarjoavat vertaansa vailla kestävyyttä, pitkäikäisyyttä ja suorituskykyä. Heidän kykynsä kestämään ankarat lämpö- ja kemialliset ympäristöt, kun taas saastumisen minimointi tekee niistä edullisen valinnan tarkkaan puolijohdevalmistukseen. Piharbidiveneemme keskittyen laatuun ja innovaatioon, ja ne tarjoavat erinomaisen suorituskyvyn, varmistaen korkean saannon ja tehokkaan kiekkojen prosessoinnin puolijohdevalmistajille ympäri maailmaa. Nämä veneet tarjoavat luotettavan ratkaisun tiukkojen teollisuuden vaatimusten täyttämiseksi joko edistyneiden solmujen tekniikoiden tai vanhan puolijohteiden valmistukseen.

(1) Kuljetus ja suojaus: Piharbidiveneissä on puolijohdemateriaaleja, kuten kiekkoja sisäisten kiinnikkeiden tai rakojen läpi, ja se käyttää piidarbidimateriaalien korkeaa lämpötilaa ja korroosionkestävyyttä kiekkojen suojaamiseksi ulkoiselta ympäristöltä.

(2) Yhdenmukainen lämmitys: Piiharbidivene mahdollistaa sisällä olevien kiekkojen lämmityksen lämpökäsittelyprosessin aikana. Tämä auttaa varmistamaan, että kiekon kunkin osan lämpötila ja reaktioprosentti pysyvät yhdenmukaisina lämmönkäsittelyprosessin aikana parantaen siten kiekon satoa ja laatua.

Tällä hetkellä on kolme päätyyppiäpiin karbidikeraaminenMateriaalit: Reaktio sintraus, paineton sintraus ja uudelleenkiteyttämisen sintraus. Useimmissa sovelluksissa reaktio sintrattu piiharbidi on sopivampi ja kustannustehokkaampi tuote. Kiteytetyt sic-veneet yleensä sintroivat ja käsittelevät ensin useita yksikköosoja, yhdistääksesi osat veneeseen korkeassa lämpötilassa ja levitä CVD-SiC-pinnoite (noin 100um). Koska uudelleenkiteyttäminen on huokoista, jos sic -pinnoitetta ei ole, se tuo myös osat puolijohdeprosessiin. Tämän tyyppisellä uudelleenkiteytetyllä sic-veneellä, jossa on CVD-SIC-pinnoite, on pisin valmistusprosessi ja se on erittäin kallis. Verrattuna sic-päällystettyihin grafiittiveneisiin, CVD-SIC-päällystetyillä uudelleenkiteytetyillä sic-veneillä ei ole CTE: n epäsuhtaongelmaa.