SiC-kiekkojen tarkastusistukat

Semicorex SiC -kiekkojen tarkastusistukat mullistavat puolijohdekiekkojen käsittely- ja tarkastusprosesseja tarjoten vertaansa vailla olevan suorituskyvyn ja luotettavuuden perinteisiin materiaaleihin verrattuna. Tässä on yksityiskohtainen katsaus niiden tärkeimpiin etuihin:

1. Parannettu kestävyys ja pitkäikäisyys:

SiC:n poikkeuksellinen kovuus ja kemiallinen inertisyys takaavat erinomaisen kestävyyden ja pitkäikäisyyden. Nämä piikarbidikiekkojen tarkastusistukat kestävät toistuvaa kiekkojen käsittelyä, estävät naarmuuntumista ja halkeilua kosketuksesta herkkien kiekkojen reunoihin ja säilyttävät rakenteellisen eheytensä jopa ankarissa kemiallisissa ympäristöissä, joita usein kohdataan puolijohdekäsittelyn aikana. Tämä pidennetty käyttöikä vähentää vaihtokustannuksia ja minimoi tuotannon seisokit.

2. Tinkimätön mittavakaus:

Kiekkojen tarkan sijoituksen säilyttäminen on ensiarvoisen tärkeää tarkan tarkastuksen ja korkean tuoton takaamiseksi. SiC-kiekkojen tarkastusistukat osoittavat mitätöntä lämpölaajenemista ja -kutistumista laajalla lämpötila-alueella, mikä varmistaa tasaisen mittavakauden jopa korkean lämpötilan prosesseissa. Tämä vakaus takaa toistettavat ja luotettavat tarkastustulokset, mikä osaltaan parantaa prosessin hallintaa ja parantaa laitteen suorituskykyä.

3. Erittäin tasaisuus ja sileys erinomaiselle kiekkokontaktille:

SiC-kiekkojen tarkastusistukat on valmistettu uskomattoman tiukoilla toleransseilla, jolloin saavutetaan erittäin tasaiset ja sileät pinnat, jotka ovat kriittisiä optimaalisen kiekkokontaktin kannalta. Tämä minimoi kiekkojen jännityksen ja vääristymisen käsittelyn aikana, mikä estää mahdollisia vikoja ja tuottohäviöitä. Lisäksi sileä pinta vähentää hiukkasten muodostumista ja kiinnijäämistä, mikä varmistaa puhtaamman prosessiympäristön ja minimoi kiekon pintaan siirtyvät viat.

4. Turvallinen ja luotettava tyhjiöpidätys:

SiC-kiekkojen tarkastusistukat helpottavat kiekkojen varmaa ja luotettavaa tyhjiöpitämistä tarkastuksen ja käsittelyn aikana. Materiaalin luontainen huokoisuus voidaan suunnitella tarkasti luomaan tasaiset alipainekanavat istukan pinnalle, mikä varmistaa kiekkojen tasaisuuden ja varman pidon ilman liukumista. Tämä turvallinen pito on ratkaisevan tärkeä korkean tarkkuuden tarkastuksessa ja käsittelyssä, mikä estää liikkeen aiheuttamat virheet ja viat.

5. Minimoitu takapuolen hiukkaskontaminaatio:

Takapuolen hiukkaskontaminaatio on merkittävä uhka kiekkojen tuotolle ja laitteen suorituskyvylle. SiC-kiekkojen tarkastusistukat sisältävät usein matalan pinnan kosketusrakenteita, joissa on strategisesti sijoitetut tyhjiöreiät tai -urat. Tämä minimoi istukan ja kiekon takapuolen välisen kosketusalueen, mikä vähentää merkittävästi hiukkasten muodostumisen ja siirtymisen riskiä.

6. Kevyt muotoilu parantaa käsittelyä ja suorituskykyä:

Poikkeuksellisesta jäykkyydestään ja lujuudestaan ​​​​huolimatta SiC Wafer Inspection -istukat ovat yllättävän kevyitä. Tämä pienempi massa tarkoittaa nopeampaa vaiheen kiihtyvyyttä ja hidastuvuutta, mikä mahdollistaa nopeamman kiekon indeksoinnin ja parantaa yleistä suorituskykyä. Kevyet istukat minimoivat myös robottikäsittelyjärjestelmien kulumisen ja vähentävät huoltotarvetta entisestään.

7. Äärimmäinen kulumiskestävyys pidentää käyttöikää:

SiC:n poikkeuksellinen kovuus ja kulutuskestävyys takaavat näiden kriittisten komponenttien pidemmän käyttöiän. Ne kestävät hankausta toistuvasta kiekkojen kosketuksesta ja kestävät kovia puhdistuskemikaaleja säilyttäen pinnan eheyden ja suorituskyvyn pitkiä aikoja. Tämä pitkäikäisyys tarkoittaa huollon vähenemistä, alhaisempia käyttökustannuksia ja lisääntynyttä yleistä tuottavuutta.