SiC kiekkokasetti

Semicorex SiC kiekkokasetti, joka tunnetaan myös laatoitettuna kiekkoveneenä, kehitettiin erityisesti hapetus-, diffuusio- ja hehkutusoperaatioihin yli 1200°C lämpötiloissa. Kasetit tarjoavat merkittävän mekaanisen tuen sekä kohdistamisen useille kiekoille kerralla korkean lämpötilan uunin käytön aikana, ja niillä on erinomainen mekaaninen ja mittastabiilisuus lämpörasituksen aikana ja sen jälkeen.  Ultrapuhtaiden ja lämpöstabiilien materiaalien kysyntä kiekkojen käsittelyjärjestelmiin kasvaa puolijohdelaitteiden koon pienentyessä ja suorituskyvyn kasvaessa.

Kasetti on valmistettu erittäin puhtaasta materiaalistapiikarbidi, on myös pinnoitteita, joita voidaan levittää vieläkin suurempien hyötyjen saamiseksi. SiC:llä on erinomainen lämpöshokki-, korroosio- ja mittojen muodonmuutoskestävyys.  SiC:llä on ainutlaatuinen kovuus, kemiallinen inertisyys ja lämmönjohtavuus, joten se on ihanteellinen materiaali tähän prosessiympäristöön. SiC, verrattuna kvartsi- ja alumiinioksidivaihtoehtoihin, ei heikennä sen mekaanisia ja kemiallisia ominaisuuksia korkeissa käsittelylämpötiloissa, mikä vähentää kontaminaatioriskiä ja parantaa kiekkojen prosessin tasaisuutta valmistusprosessien aikana.

SiC-kiekkokasetin erittäin puhdas puhtaus osoittaa kestävyyttä metallisia tai ionisia epäpuhtauksia vastaan, jotka pääsevät prosessikammioon; jotain, joka on ehdottoman välttämätöntä korkean puhtauden kannalta edistyneiden puolijohteiden valmistusprosessien prosessivaatimusten täyttämiseksi. Minimoimalla epäpuhtauksien lähteet piikarbidikasetit lisäävät kiekkojen tuottoa ja laitteen luotettavuutta.

Semicorexin tarkkuustyöstötekniikka mahdollistaa jokaisen kasetin valmistuksen tiukoilla toleransseilla, tasaisella uravälillä ja yhdensuuntaisella kohdistuksella. Materiaalien tarkkuustyöstö tukee sujuvaa kiekkojen lastausta ja purkamista, mikä vähentää naarmuuntumisriskiä kiekkoja käsiteltäessä. Tarkka rakoväli mahdollistaa tasaisen lämpötilan ja ilmavirran kaikissa kiekoissa, mikä edistää hapettumisen ja diffuusion tasaisuutta ja vähentää prosessin vaihtelua.

SiC:llä on erinomainen lämmönjohtavuus, mittastabiilius ja se tarjoaa luotettavan suorituskyvyn toistuvassa lämpösyklissä. Materiaali on vakaa eikä väänny tai halkeile; sen korkea jäykkyys säilyttää rakenteellisen eheyden korkeissa lämpötiloissa pitkiä aikoja, mikä vähentää merkittävästi kiekkojen mekaanista rasitusta ja rajoittaa ei-toivottujen hiukkasten syntymisen todennäköisyyttä käsittelyssä kitkan tai mikrovärähtelyn vuoksi.

Lisäksi,SiCInerttiys kemikaaleja kohtaan suojaa kiekkoja reaktiolta prosessikaasujen (esim. happi, vety, ammoniakki) kanssa, joita tyypillisesti esiintyy prosessoinnin aikana. Kiekokasetit ovat stabiileja hapettavassa ja hapettamattomassa ilmakehässä, ja ne voidaan sisällyttää uunin työnkulkuun useissa prosesseissa, kuten hapetuksessa, diffuusiossa, LPCVD:ssä ja hehkutuksessa.

Täyttääkseen erityisiä prosessivaatimuksia Semicorex tarjoaa räätälöityjä SiC-kiekkokasetteja eri kokoisina, paikoillaan ja kokoonpanoina. Jokaiselle yksikölle suoritetaan tiukka laatutarkastus ja pintakäsittely tasaisuuden, puhtauden ja mittatarkkuuden varmistamiseksi. Valinnainen pinnan kiillotus vähentää edelleen hiukkasten muodostumista ja parantaa yhteensopivuutta automatisoitujen kiekkojen käsittelyjärjestelmien kanssa.