Sic -robotti kädet

Semicorex SiC -robotin kädet ovat viimeisintä robotiikan kiekkojen siirtosovelluksiin suunniteltuja lopputehokkaita puolijohteiden valmistuksen alalla. Suoritettujen materiaalien kanssa valmistettuja suunnittelimme nämä robottiset kädet piikarbidilla (sic) keramiikoilla maksimaalisen lämpötaulukon, kemiallisen stabiilisuuden ja mekaanisen lujuuden aikaansaamiseksi yhä ankarampaan kiekkojen valmistus- tai käsittelyympäristöön.

Keskeinen SIC -robottimme käsissä on oma edistynytpiikarbidiTunnetaan korkeasta kovuudestaan (MOHS 9), korkea lämmönjohtavuus ja korroosionkestävyys. Toisin kuin perinteiset materiaalit, kuten alumiini tai ruostumaton teräs, SIC on yhteensopiva puolijohdepuhdistushuoneiden ankaran prosessointiympäristön kanssa, mukaan lukien jalostetut korkeat lämpötilat ja reaktiiviset kaasut. Tarjoamme pitkäaikaisia kestävyyttä ja minimoimme saastumisen, joka on yhdenmukainen kiekkojen valmistukseen tarvittavan tiukan puhtauden kanssa.

Puolijohdelaitteet, joissa on sic -robotti kädet, käyttävät negatiivista paine -imua kiekon saamiseksi, ts. Puolijohde -kiekko adsorboituu kvartsiin tai keraamiseen sormella käyttämällä imu -cup -periaatetta, jota seuraa kuljetus käyttämällä vastaavasti mekaanista toimenpiteitä, kiertäviä ja nostoliikkeitä.

"Suuri nopeus" ja "puhtaus" ovat puolijohdekiekkojen käsittelylaitteiden ydinominaisuuksia. Näiden ominaisuuksien täyttämiseksi laitteella on erittäin tiukat vaatimukset käytettyjen komponenttien suorituskyvystä. Koska suurin osa prosesseista suoritetaan tyhjiössä, korkeassa lämpötilassa ja syövyttävissä kaasuympäristöissä, laitteissa käytetyllä käsittelyvarsilla on oltava erinomaiset fysikaaliset ominaisuudet, kuten: korkea mekaaninen lujuus, korroosionkestävyys, korkea lämpötilankestävyys, kulutuskestävyys, korkea kovuus, eristys jne. Ja edistyneet keraamiset materiaalit voivat vain täyttää nämä olosuhteet.

Piiharbidikeramiikkaon tiheän tekstuurin fysikaaliset ominaisuudet, korkea kovuus, korkea kulumiskestävyys, samoin kuin hyvä lämmönkestävyys, erinomainen mekaaninen lujuus, hyvä eristys korkean lämpötilan ympäristössä, hyvä korroosionkestävyys ja muut fysikaaliset ominaisuudet. Se on erinomainen materiaali puolijohdelaitteiden käsikäsittelyyn.

Tunnustaen, että robottiympäristöt vaihtelevat FABS: n ja työkalujen valmistajien välillä, sic -robottimme kädet ovat saatavana standardisoiduissa kokoissa ja niitä voidaan räätälöidä ainutlaatuisiin työkalukokoonpanoihin. Asennusrajapinnat, sormen geometriat ja kiekkojen tukiominaisuudet voidaan räätälöidä vastaamaan tiettyjä laitteita ja prosessitarpeita. Siirrätkö kiekkoja klusterityökaluihin, tyhjiökammioihin tai FOUP -järjestelmiin, robotti -kädet integroituvat saumattomasti johtaviin robotiikkabrändeihin.

Jokainen SIC -robotti käy läpi tiukat puhdistus-, tarkastus- ja pakkausmenettelyt, jotta varmistetaan luokan 1 puhtaan huoneen standardien noudattaminen. SIC: n ei-huokoinen, antistaattinen pinta vähentää hiukkasten tarttuvuutta, kun taas vankka rakenne kestää mikrofraktioita, jotka voivat johtaa hiukkasten muodostumiseen ajan myötä. Tämä tekee niistä ihanteellisia etuosan kiekkojen prosesseihin, joissa jopa pienin saastuminen voi johtaa laitteen vikaan.

Epitaksista ja ionin implantoinnista PVD: hen, CVD: hen ja CMP: hen, SIC -robotin käsiin luotetaan puolijohdelaitteen valmistuksen jokaiseen vaiheeseen. Niiden ylempi vastus lämpöisku- ja plasmaympäristöille tekee niistä välttämättömiä edistyneissä logiikka- ja voima -puolijohdeviivoissa, etenkin sic -kiekkojen substraatteja.