SiC huokoiset keraamiset tyhjiöistukat

SiC huokoiset keraamiset tyhjiöistukatkoostuvat tyypillisesti piikarbidin huokoisesta keraamisesta levystä ja tiheästä alumiinioksidikeraamista pohjasta. Sen sisällä on lukuisia tasaisesti jakautuneita ja toisiinsa liittyviä mikrohuokosiapiikarbidihuokoinen keraaminen levy tyhjiötoimitukseen. Käytön aikana SiC-huokoiset keraamiset tyhjiöistukat liitetään ulkoisiin tyhjiöpumppuihin. Alipainevaikutuksen alaisena syntyy tyhjiöympäristö työkappaleen ja istukan väliin, mikä varmistaa, että SiC huokoiset keraamiset alipaineistukat puristavat ja kiinnittävät työkappaleen tiukasti pintaansa.

Semicorex SiC huokoisten keraamisten tyhjiöistukkaiden edut

1. Tasainen ja vakaa adsorptiokapasiteetti

Semicorex SiChuokoinen keramiikkatyhjiöistukat on rakennettu mikrohuokoisen keraamisen teknologian avulla, jossa käytetään tasakokoisia nanojauheita. Tämän tekniikan ansiosta   SiC huokoisilla keraamisilla tyhjiöistukkailla on erinomainen huokoisuus ja tasaisen tiheä huokosrakenne. Näin ollen tasainen adsorptiovoima voidaan kehittää koko kosketuspinnalle alipaineistukan ja työkappaleen välille, mikä vähentää merkittävästi paikallisen jännityskeskittymän aiheuttamaa työkappalevauriota.

2. Ylivoimainen tasaisuus ja mittatarkkuus

Semicorex SiC huokoisissa keraamisissa tyhjiöistukkaissa on hienostunut CNC-käsittely ja tarkkuus pintakäsittely, mikä saavuttaa poikkeuksellisen tasaisuuden ja mittatarkkuuden. Tyhjiöistukkaiden pinnan tasaisuutta voidaan säätää mikronitason toleranssialueella eri mittojen ja käyttöskenaarioiden perusteella. Tämä välttää tehokkaasti reunan lohkeilun ja sirpaloitumisen riskin, joka johtuu epätasaisesta voimasta adsorptioprosessin aikana.

3. Puhdas, hiukkaseton toiminta

Semicorex SiC huokoisilla keraamisilla tyhjiöistukkailla, jotka on käsitelty isostaattisella puristamalla ja korkean lämpötilan sintrauksella, on tasaisen tiivis rakenne, mikä takaa alhaisen kaasun muodostumisen ja hiukkasten muodostumisen. Lisäksi jokainen Semicorexin imuistukka käy läpi tiukan ultraäänipuhdistuksen ja hiukkastarkastuksen ennen lähettämistä. Tämä estää suuresti työkappaleen saastumisen, joka johtuu hiukkasten irtoamisesta käytön aikana ja täyttää siten tiukat prosessin puhtausstandardit

4. Erinomainen kestävyys ja käyttöikä

Huokoisilla keraamisilla Semicorex SiC -tyhjiöistukat on valmistettu huolellisesti valitusta korkealaatuisesta alumiinioksidi- ja piikarbidimateriaalista, ja niille on ominaista erinomainen mekaaninen lujuus, kulutuskestävyys, korroosionkestävyys ja lämmönkestävyys. Näillä ylivoimaisilla ominaisuuksilla  Semicorex SiC huokoiset keraamiset tyhjiöistukat sopivat hyvin haastaviin käyttöolosuhteisiin, joissa on korkea lämpötila, korkea kosteus ja korkea korroosio.