Semicorex SiC huokoiset keraamiset irrotusistukat ovat välttämättömiä komponentteja, jotka on erityisesti suunniteltu ohennettujen ultraohuiden kiekkojen adsorptioon ja kiinnitykseen edistyneessä puolijohteiden valmistuksessa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan arvostetuille asiakkaillemme tarkkuuskoneistettuja huokoisia piikarbidikeramiikkaa, joiden laatu on markkinoiden johtava.
Puolijohdekäsittelyn kehittyessä ja elektronisten komponenttien kysynnän kasvaessa erittäin ohuiden kiekkojen soveltamisesta on tullut yhä kriittisempi. Yleensä kiekkoja, joiden paksuus on alle 100 μm, kutsutaan ultraohuiksi kiekoiksi. Kuitenkin, kun kiekot ohennetaan alle 100 μm:iin, ne hauraavat merkittävästi ja niiden mekaaninen lujuus heikkenee myöhemmin, mikä johtaa suureen kiekkojen vääntymisen, taipumisen tai jopa rikkoutumisen riskiin. Tästä syystä Semicorex SiC huokoisten keraamisten irrotusistukkaiden käyttö on viisas päätös, joka voi tarjota luotettavan tuen ja suojan erittäin ohuille kiekkoille turvallisen erotuksen saavuttamiseksi sidosten irrotusprosessissa.
Sen Mohs-kovuus on noin 9,5, SemicorexSiC huokoiset keraamiset irrotusistukatylpeillä poikkeuksellisella kulutuskestävyydellä ja kestävät pitkäkestoisesti toistuvia tyhjiöadsorptio- ja irrotustoimenpiteitä luotettavalla kestävyydellä irrotusprosessin aikana.
Lisäksi ylivoimaisen lämmönjohtavuuden ansiosta Semicorex SiC huokoiset keraamiset irrotusistukat sopivat nopeasti lämmön johtamiseen, mikä voi tehokkaasti estää paikallisen ylikuumenemisen, joka voi heikentää tai vaurioittaa kiekkoja. Soveltuu erityisen hyvin korkean lämpötilan irrotusprosessiin.
Valmistettu korkealaatuisesta materiaalistapiikarbidijauhe korkeassa lämpötilassa sintraamalla, Semicorex SiC huokoisissa keraamisissa irrotusistuissa on lukuisia toisiinsa liittyviä mikrohuokosia, jotka on jakautunut tasaisesti sisälle. Huokoisuudella 30 (±5) % ja tarkasti säädetyllä 2-25 μm:n huokoskokollaan Semicorex SiC huokoiset keraamiset irrotusistukat voivat varmistaa, että ultraohuet kiekot rasituvat tasaisesti irrotusprosessin aikana, mikä vähentää huomattavasti kiekkojen vääntymisen ja rikkoutumisen riskiä.
Hyödyntämällä kypsää koneistus- ja pintakäsittelyteknologiaa, Semicorex SiC huokoiset keraamiset irrotusistukat saavuttavat alle 0,02 mm:n yhdensuuntaisuuden ja alle 0,02 mm:n kaksipuolisen tasaisuuden. Tämä erinomainen tasaisuus ja yhdensuuntaisuus tarjoavat vakaan ja tasaisen tukialustan ultraohuiden kiekkojen irrotusprosessille, mikä takaa tehokkaasti irrotusprosessin tarkkuuden ja luotettavuuden.
Semicorex SiC huokoiset keraamiset irrotusistukat soveltuvat hyvin 6 tuuman ja 8 tuuman kiekkojen käsittelyyn, ja niitä on saatavana useissa vakiomitoissa, mukaan lukien halkaisija 159 mm × 0,75 mm paksuus, 200 mm halkaisija × 1 mm paksuus, 204 mm halkaisija × 1,5 mm paksuus.