SiC Multi Pocket -vastaanotin

Semicorex SiC Multi Pocket Susceptorin perusta on erittäin puhdasta isotrooppista grafiittia, joka tunnetaan lämpöstabiilisuudestaan ​​ja lämpöshokin kestävyydestään. Tätä perusmateriaalia parannetaan entisestään käyttämällä huolellisesti kontrolloitua CVD-pinnoitettua piikarbidipinnoitetta. Tämä yhdistelmä tarjoaa ainutlaatuisen ominaisuuksien synergian:

Ennennäkemätön kemiallinen kestävyys:SiC-pintakerros kestää poikkeuksellista hapettumista, korroosiota ja kemiallista hyökkäystä jopa korkeissa lämpötiloissa, jotka ovat ominaisia ​​epitaksiaalisille kasvuprosesseille. Tämä inerttiys varmistaa, että SiC Multi Pocket Susceptor säilyttää rakenteellisen eheytensä ja pinnan laadun, minimoi kontaminaatioriskin ja takaa pidemmän käyttöiän.

Poikkeuksellinen lämpöstabiilisuus ja tasaisuus:Isotrooppisen grafiitin luontainen stabiilius yhdistettynä tasaiseen SiC-pinnoitteeseen takaa tasaisen lämmön jakautumisen suskeptorin pinnalla. Tämä tasaisuus on ensiarvoisen tärkeää homogeenisten lämpötilaprofiilien saavuttamisessa kiekon poikki epitaksian aikana, mikä johtaa suoraan erinomaiseen kiteen kasvuun ja kalvon tasaisuuteen.

Parannettu prosessin tehokkuus:SiC Multi Pocket Susceptorin kestävyys ja pitkäikäisyys lisäävät prosessin tehokkuutta. Lyhennetyt seisokit puhdistuksessa tai vaihdossa lisäävät suorituskykyä ja alentaa kokonaiskustannuksia, jotka ovat ratkaisevia tekijöitä vaativissa puolijohteiden valmistusympäristöissä.

SiC Multi Pocket Susceptorin erinomaiset ominaisuudet merkitsevät suoraan konkreettisia etuja epitaksiaalisten kiekkojen valmistuksessa:

Parempi kiekkojen laatu:Parannettu lämpötilan tasaisuus ja kemiallinen inertisyys vähentävät vikoja ja parantavat kiteiden laatua epitaksiaalisessa kerroksessa. Tämä tarkoittaa suoraan lopullisten puolijohdelaitteiden parempaa suorituskykyä ja tuottoa.

Parempi laitteen suorituskyky:Kyky saavuttaa tarkka dopingprofiilien ja kerrospaksuuksien hallinta epitaksin aikana on ratkaisevan tärkeää laitteen suorituskyvyn optimoinnissa. SiC Multi Pocket Susceptorin tarjoaman vakaan ja yhtenäisen alustan avulla valmistajat voivat hienosäätää laitteen ominaisuuksia tiettyjä sovelluksia varten.

Lisäsovellusten käyttöönotto:Kun puolijohdeteollisuus pyrkii kohti pienempiä laitegeometrioita ja monimutkaisempia arkkitehtuureja, korkean suorituskyvyn epitaksiaalisten kiekkojen kysyntä jatkaa kasvuaan. Semicorex SiC Multi Pocket Susceptorilla on ratkaiseva rooli näiden edistysten mahdollistamisessa tarjoamalla tarvittavan alustan tarkalle ja toistettavalle epitaksiaaliselle kasvulle.