SiC ICP -etsauslevy

Semicorex SiC ICP -etsauslevy täyttää alan vaatimukset tarjoamalla poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden, erinomaisen kovuuden ja huomattavan kemiallisen stabiilisuuden, joten se on suositeltava valinta edistyneeseen puolijohteiden valmistukseen.

Piikarbidi tunnetaan poikkeuksellisesta lämmönjohtavuudestaan, joka on keskeinen ominaisuus puolijohteiden valmistuksessa. Tämän ominaisuuden ansiosta SiC ICP -etsauslevy voi tehokkaasti haihduttaa etsausprosessin aikana syntyneen lämmön ja säilyttää optimaaliset käyttölämpötilat. Hallitsemalla tehokkaasti lämpöä SiC ICP -etsauslevy minimoi ylikuumenemisriskin ja varmistaa tasaisen suorituskyvyn ja luotettavuuden jopa suuritehoisissa sovelluksissa. Tämä lämmönhallinta on välttämätöntä etsausprosessin eheyden ylläpitämiseksi ja korkealaatuisten tulosten saavuttamiseksi.

Toinen SiC ICP -etsauslevyn erottuva ominaisuus on sen erinomainen kovuus ja kulutuskestävyys. Yhtenä kovimmista saatavilla olevista materiaaleista piikarbidilla on erinomainen kulutuskestävyys ja mekaaninen kuluminen. Tämä ominaisuus on erityisen arvokas plasmaetsausympäristössä, jossa etsauslevy altistuu aggressiivisille kemiallisille ja fysikaalisille olosuhteille. SiC ICP -etsauslevyn kestävyys merkitsee pidempää käyttöikää, lyhyempiä seisokkeja ja alhaisempia ylläpitokustannuksia, mikä tekee siitä kustannustehokkaan ratkaisun suuria tuotantomääriä varten.

Termisten ja mekaanisten ominaisuuksiensa lisäksi SiC ICP -etsauslevy tarjoaa erinomaisen kemiallisen stabiilisuuden. Piikarbidi on erittäin kestävä korroosiota ja kemiallisia vaikutuksia vastaan, mikä varmistaa, että se säilyttää rakenteellisen eheytensä ja suorituskykynsä myös ankarissa kemiallisissa ympäristöissä. Tämä kemiallisen hajoamisen kestävyys on ratkaisevan tärkeä etsausprosessin tarkkuuden ja tarkkuuden ylläpitämiseksi, koska kaikki etsauslevyn eheyden kompromissit voivat johtaa valmistettavien puolijohdelaitteiden virheisiin.