SIC vaakasuuntaiset uuniputket

SIC vaakasuuntaiset uuniputketovat uunijärjestelmän välttämättömiä kantajia, ja ne sijaitsevat yleensä puolijohdevalmistuksen tai aurinkosähkön tuotantolaitteiden sydämen lämmitysalueella. Ne toimivat yhdessä lämmityselementtien, lämpötilansäätöjärjestelmien, kaasunsäätöjärjestelmien ja kiekkoveneiden kanssa muodostaen täydellisen uunijärjestelmän.

Varsinaisessa käytössä SIC-vaaka-uuniputket lämmitetään lämmityselementeillä, jotka siirtävät lämmön tasaisesti uuniputkiin piikarbidimateriaalien erinomaisen lämmönjohtavuuden avulla. Sillä välin erityisiä prosessikaasuja (kuten happea, typpeä, seostuskaasuja jne.) johdetaan uuniputkeen. Tämän korkean lämpötilan kaasuatmosfäärin vaikutuksesta uunin sisällä olevat puolijohdemateriaalit käyvät läpi kemiallisia reaktioita tai fysikaalisia muutoksia, mikä lopulta johtaa materiaalin muuntamiseen, seostukseen tai rakenteelliseen optimointiin.

Semicorexin vaakasuuntaiset SIC-uuniputket tarjoavat huomattavan mekaanisen lujuuden ja kovuuden, mikä on merkittävä rooli sovelluksissa, joissa käsitellään suuria kiekkoja ja prosessointia. Vaakasuuntaiset SIC-uuniputket pystyvät tarjoamaan vakaan tuen kiekoille lämpökäsittelyprosesseissa, kuten hapetuksessa, diffuusiossa ja hehkutuksessa, varmistaen, että kiekot ovat oikeassa asennossa korkean lämpötilan käsittelyn aikana ja välttäen lämpörasituksen aiheuttamia siirtymiä tai muodonmuutoksia.

Semicorexin vaakasuuntaiset SIC-uuniputket on valmistettu erittäin puhtaistapiikarbidi keramiikkaerittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus, jota seuraa CVD:n kerrostaminenpiikarbidipinnoiteniiden pinnalla. Tämä valmistusmenetelmä lisää SIC-vaakaputkiin suojakerroksen, jonka ansiosta ne voivat toimia vakaasti vaativissa korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä ajan mittaan. Tämä vaakasuuntaisten SIC-uuniputkien korroosionkestävyys parantaa puolijohdekiekkojen valmistuksen tehokkuutta vähentämällä tehokkaasti korroosioon liittyvien komponenttien vaurioiden riskiä ja vähentämällä toistuvien vaihto- ja huoltotarvetta.

Semicorexin SIC-vaakasuuntaisia ​​uuniputkia käytetään laajalti monissa korkean lämpötilan prosesseissa aurinkosähkö- ja puolijohdeteollisuudessa, kuten hapetusprosessissa, diffuusioprosessissa, hehkutusprosessissa ja matalapaineisessa kemiallisessa höyrypinnoitusprosessissa.