Koti > Tuotteet > Keraaminen > Piikarbidi (SiC) > SiC-tarkennusrenkaat
SiC-tarkennusrenkaat

SiC-tarkennusrenkaat

Semicorexin edistyneet, erittäin puhtaat SiC Focus Rings -renkaat on rakennettu kestämään äärimmäisiä ympäristöjä plasmaetsauskammioissa (tai kuivaetsauskammioissa). Keskitymme puolijohdeteollisuuteen, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex toimittaa SiC Focus Rings -renkaita on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen. SiC Focus Rings tai reunarenkaat on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä. Minimoi kontaminaatio ja suunnittelematon huolto erittäin puhtailla komponenteilla, jotka on suunniteltu plasmaetsauskäsittelyn vaativiin vaatimuksiin. SiC-pinnoitteella varustetut SiC Focus Rings -renkaamme on tiheä, kulutusta kestävä piikarbidi (SiC) pinnoite. Sillä on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitin päälle käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD).


SiC-tarkennusrenkaiden parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot

SiC-CVD-ominaisuudet

Kristallirakenne

FCC p-vaihe

Tiheys

g/cm³

3.21

Kovuus

Vickersin kovuus

2500

Raekoko

μm

2~10

Kemiallinen puhtaus

%

99.99995

Lämpökapasiteetti

J kg-1 K-1

640

Sublimaatiolämpötila

2700

Feleksuaalinen voima

MPa (RT 4-piste)

415

Youngin Modulus

Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)

430

Lämpölaajeneminen (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Lämmönjohtavuus

(W/mK)

300


SiC Focus Rings -renkaiden ominaisuudet

- CVD-piikarbidipinnoitteet käyttöiän pidentämiseksi.

- Lämmöneristys, joka on valmistettu korkean suorituskyvyn puhdistetusta jäykästä hiilestä.

- Hiili-/hiilikomposiittilämmitin ja -levy. - Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Erittäin puhdas grafiitti- ja piikarbidipinnoite reikien kestävyyteen ja pidempään käyttöikään




Hot Tags: SiC Focus Rings, Kiina, valmistajat, toimittajat, tehdas, räätälöity, irtotavarana, edistynyt, kestävä
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept