SiC-tarkennusrenkaat

Semicorexin edistyneet, erittäin puhtaat SiC Focus Rings -renkaat on rakennettu kestämään äärimmäisiä ympäristöjä plasmaetsauskammioissa (tai kuivaetsauskammioissa). Keskitymme puolijohdeteollisuuteen, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex toimittaa SiC Focus Rings -renkaita on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen. SiC Focus Rings tai reunarenkaat on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä. Minimoi kontaminaatio ja suunnittelematon huolto erittäin puhtailla komponenteilla, jotka on suunniteltu plasmaetsauskäsittelyn vaativiin vaatimuksiin. SiC-pinnoitteella varustetut SiC Focus Rings -renkaamme on tiheä, kulutusta kestävä piikarbidi (SiC) pinnoite. Sillä on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitin päälle käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD).

SiC-tarkennusrenkaiden parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

SiC Focus Rings -renkaiden ominaisuudet

- CVD-piikarbidipinnoitteet käyttöiän pidentämiseksi.

- Lämmöneristys, joka on valmistettu korkean suorituskyvyn puhdistetusta jäykästä hiilestä.

- Hiili-/hiilikomposiittilämmitin ja -levy. - Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Erittäin puhdas grafiitti- ja piikarbidipinnoite reikien kestävyyteen ja pidempään käyttöikään