SiC Fin

Semicorex SiC Fin on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on valmistettupiikarbidi keramiikka, se on suunniteltu käytettäväksi puolijohteiden epitaksi- ja etsausjärjestelmissä. Suunniteltu pyöreäksi, kiekon muotoiseksi kappaleeksi, jossa on erilaisia ​​halkaisijaltaan erilaisia ​​porattuja reikiä, SiC Fin on kriittinen komponentti materiaalien virtauskuvioinnissa ja kaasujen tai nestemäisten jätevesien hallinnassa korkean lämpötilan tai plasmakäsittelyn aikana. Rakenteellisen suorituskyvyn, erinomaisen korroosionkestävyyden ja korkean lämpöstabiilisuuden ansiosta SiC Fin on kriittinen puolijohteiden edistyneessä valmistuksessa.

SiC Fin on valmistettu erittäin puhtaastapiikarbidijauhe kehittyneillä muovaus- ja sintrausprosesseilla. Siten sillä on erinomainen mekaaninen lujuus ja stabiilisuus korkeissa lämpö- ja kemiallisissa olosuhteissa. Piikarbidin ainutlaatuiset fysikaaliset ominaisuudet, kuten korkea kovuus, alhainen lämpölaajeneminen ja erinomainen kemiallinen inertti, mahdollistavat sen, että Fin on rakennekomponentti korkean lämpötilan plasma- tai reaktiivisissa kaasuympäristöissä, mikä on ominaista EPI- ja etsausprosesseille.

Komponentin levyrakenne, jossa on tarkasti poratut reiät, mahdollistaa kaasujen ja nesteiden kontrolloidun virtauksen läpi prosessikammioiden. Sovelluksesta riippuen reiät voidaan konfiguroida hallitsemaan sivutuotteiden virtausta tai viemäröintiä puhtaan ja vakaan ympäristön varmistamiseksi kiekkoprosessin aikana. Esimerkiksi epitaksisovelluksessa SiC Fin voi auttaa ohjaamaan prosessikaasuja tai lauhdevirtauksia, mikä parantaa kalvon tasaisuutta ja minimoi hiukkaskontaminaation. Syövytystyökaluissa se on tehokas reaktiivisten lajien ja nestemäisten sivutuotteiden turvalliseen ja tehokkaaseen poistamiseen ja suojaa kammion herkkiä osia kemialliselta hajoamiselta.

يستخدم لتوصيل المكونات ذات درجة الحرارة العالية للمفاعلات النووية.

Monipuolisen toiminnallisuuden lisäksi SiC Fin on poikkeuksellisen kestävä ja pitkäikäinen muihin materiaaleihin verrattuna. Se kestää erittäin hyvin hapettumista, plasmaeroosiota ja kemiallista korroosiota, mikä vähentää osien vaihtotiheyttä ja lyhentää järjestelmän seisonta-aikoja. Lisäksi piikarbidin lämmönjohtavuus mahdollistaa lämmönpoistokapasiteetin hallita lämpögradientteja laitteessa, mikä estää ei-toivotun vääntymisen tai halkeilun nopean lämpötilakierron aikana.

Semicorex käyttää edistyneitäkeraaminenprosessointi- ja CVD-pinnoitusominaisuudet takaavat tuotetun piikarbidin korkeimman puhtauden ja koostumuksen. Jokaisen SiC Fin tarkastetaan myös tiheys, mikrorakenteen tasaisuus ja pinnan täydellisyys sen varmistamiseksi, että se täyttää puolijohdeteollisuuden vaativat vaatimukset. Tämä johtaa komponenttiin, jolla on mekaaninen eheys ja kestävyys vakaaseen, pitkäkestoiseen toimintaan äärimmäisissä ympäristöissä.

Monipuolisen toiminnallisuuden lisäksi SiC Fin on poikkeuksellisen kestävä ja pitkäikäinen muihin materiaaleihin verrattuna. Se kestää erittäin hyvin hapettumista, plasmaeroosiota ja kemiallista korroosiota, mikä vähentää osien vaihtotiheyttä ja lyhentää järjestelmän seisonta-aikoja. Lisäksi piikarbidin lämmönjohtavuus mahdollistaa lämmönpoistokapasiteetin hallita lämpögradientteja laitteessa, mikä estää ei-toivotun vääntymisen tai halkeilun nopean lämpötilakierron aikana.