SiC-levyvastaanotin

Laatuun ja innovaatioihin sitoutuneena Semicorexin erittäin puhdas SiC Disc Susceptor asettaa uuden standardin suorituskyvylle epitaksi-, MOCVD- ja RTP-laitteissa. Yhdistämällä poikkeuksellinen lämpöiskun kestävyys, erinomainen lämmönjohtavuus, erinomainen kemiallinen kestävyys ja erittäin korkea puhtaus, nämä suunnitellut komponentit antavat puolijohteiden valmistajille mahdollisuuden saavuttaa vertaansa vailla oleva tehokkuus, luotettavuus ja tuotteiden laatu. Semicorexin mukautettavat ratkaisut varmistavat edelleen, että jokainen lämpökäsittelysovellus hyötyy optimoiduista, tarkasti suunnitelluista komponenteista, jotka on suunniteltu täyttämään sen ainutlaatuiset vaatimukset.

Erinomainen lämpöiskun kestävyys:SiC Disc Susceptor kestää erinomaisesti nopeita lämpötilanvaihteluita, jotka ovat yleisiä RTP:ssä ja muissa korkean lämpötilan prosesseissa. Tämä poikkeuksellinen lämpöiskunkestävyys takaa rakenteellisen eheyden ja pitkäikäisyyden, minimoi äkillisten lämpötilamuutosten aiheuttaman vaurion tai vian riskin ja lisää lämpökäsittelylaitteiden luotettavuutta.

Ylivoimainen lämmönjohtavuus:Tehokas lämmönsiirto on kriittinen lämpökäsittelysovelluksissa. SiC Disc Susceptorin erinomainen lämmönjohtavuus varmistaa nopean ja tasaisen lämmityksen ja jäähdytyksen, mikä on välttämätöntä tarkan lämpötilan säätelyn ja prosessin tasaisuuden kannalta. Tämä johtaa parantuneeseen prosessitehokkuuteen, lyhennettyihin sykliaikoihin ja laadukkaampiin puolijohdekiekoihin.

Poikkeuksellinen kemiallinen kestävyys:SiC Disc Susceptor tarjoaa erinomaisen kestävyyden monenlaisia ​​syövyttäviä ja reaktiivisia kemikaaleja vastaan, joita käytetään epitaksi-, MOCVD- ja RTP-prosesseissa. Tämä kemiallinen inertisyys suojaa alla olevaa grafiittia hajoamiselta, estää prosessiympäristön saastumisen ja varmistaa tasaisen suorituskyvyn pitkiä käyttöaikoja.

Erittäin puhdas: SiC Disc Susceptor on valmistettu ultrakorkeiden puhtausstandardien mukaisesti sekä grafiitti- että SiC-pinnoitteelle, jolloin vältetään kontaminaatiomahdollisuus ja varmistetaan virheettömien puolijohdelaitteiden tuotanto. Tämä puhtauteen sitoutuminen tarkoittaa korkeampaa tuottoa ja parempaa laitteen suorituskykyä.

Monimutkaisten muotojen saatavuus:Semicorexin edistyneet valmistusominaisuudet mahdollistavat SiC Disc Susceptor -levyn tuotannon monimutkaisissa muodoissa, jotka on räätälöity asiakkaiden erityistarpeisiin. Tämä joustavuus mahdollistaa räätälöityjen ratkaisujen suunnittelun, jotka täyttävät erilaisten lämpökäsittelysovellusten täsmälliset tarpeet, mikä parantaa prosessin tehokkuutta ja laitteiden yhteensopivuutta.

Käyttökelpoinen hapettuvissa ilmakehissä:Vankka CVD SiC -pinnoite tarjoaa erinomaisen suojan hapettumista vastaan, jolloin SiC Disc Susceptor toimii luotettavasti hapettavissa ympäristöissä. Tämä laajentaa niiden sovellettavuutta laajempiin lämpöprosesseihin, mikä varmistaa monipuolisuuden ja mukautuvuuden.

Tukeva, toistettava suorituskyky:Korkean lämpötilan ja tyhjiöympäristöihin suunniteltu SiC Disc Susceptor tarjoaa vankan ja toistettavan suorituskyvyn. Sen kestävyys ja johdonmukaisuus tekevät niistä ihanteellisia kriittisiin lämpökäsittelysovelluksiin, mikä vähentää seisokkeja, ylläpitokustannuksia ja varmistaa pitkän aikavälin toimintavarmuuden.

Semicorex on erikoistunut räätälöimään CVD SiC -pinnoitettuja komponentteja vastaamaan erilaisiin lämpökäsittelylaitteiden tarpeisiin, mukaan lukien:

Hajottimet:Paranna kaasun jakelun tasaisuutta ja prosessin yhtenäisyyttä.

Eristeet:Tarjoa lämpöeristys ja suojaus korkeissa lämpötiloissa.

Muut mukautetut lämpökomponentit:Räätälöidyt ratkaisut, jotka on suunniteltu täyttämään tietyt prosessivaatimukset ja optimoimaan laitteiden suorituskyvyn.