Voit olla varma, että ostat tehtaaltamme SiC Coating Graphite Substrate -kiekkotelineet MOCVD:lle. Semicorexilla olemme suuri piikarbidipinnoitettujen grafiittisusseptoreiden valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Tuotteellamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Pyrimme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia tuotteita, jotka täyttävät heidän erityisvaatimukset. SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carrier for MOCVD on erinomainen valinta niille, jotka etsivät korkean suorituskyvyn alustaa puolijohteiden valmistusprosessiinsa.
SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carrier for MOCVD on tärkeä rooli puolijohteiden valmistusprosessissa. Tuotteemme on erittäin vakaa äärimmäisissäkin olosuhteissa, joten se on erinomainen valinta korkealaatuisten kiekkojen valmistukseen.
SiC Coating Graphite Substrate -kiekkojen alustamme MOCVD:lle ovat erinomaisia. Sen tiheä pinta ja hienot hiukkaset parantavat sen korroosionkestävyyttä tehden siitä kestävän happoa, alkalia, suolaa ja orgaanisia reagensseja. Kantoaine varmistaa tasaisen lämpöprofiilin ja parhaan laminaarisen kaasuvirtauskuvion, mikä estää kontaminaatioiden tai epäpuhtauksien leviämisen kiekkoon.
MOCVD:n piikarbidipinnoitteen grafiittisubstraattikiekkojen kannattimet
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
SiC Coated Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle
- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen