SiC-pinnoitettu kiekkolevy

Semicorex SiC -pinnoitetun kiekkolevyn pohja koostuu korkealaatuisesta grafiitista, joka on asiantuntevasti päällystetty Chemical Vapor Deposition (CVD) SiC:llä. Tämä edistyksellinen rakenne tarjoaa poikkeuksellisen kestävyyden lämpöiskuja ja kemiallista hajoamista vastaan, pidentää merkittävästi piikarbidilla päällystetyn kiekkolevyn käyttöikää ja varmistaa luotettavan suorituskyvyn koko puolijohteiden valmistusprosessin ajan.

Erityisesti piikarbidilla päällystetty kiekkolevy on erinomainen lämmönjohtavuudessa, joka on kriittinen tehokkaalle lämmönpoistolle puolijohteiden valmistuksen aikana. Tämä ominaisuus minimoi lämpögradientteja kiekon pinnalla, mikä edistää tasaista lämpötilan jakautumista, joka on välttämätöntä haluttujen puolijohdeominaisuuksien saavuttamiseksi.

SiC-pinnoite tarjoaa vankan suojan kemiallista korroosiota ja lämpöshokkia vastaan ​​säilyttäen piikarbidilla päällystetyn kiekkolevyn eheyden jopa ankarissa prosessiympäristöissä. Tämä parannettu kestävyys pidentää käyttöikää ja lyhentää seisokkeja, mikä lisää tuottavuutta ja kustannustehokkuutta puolijohdevalmistuslaitoksissa.

Lisäksi SiC-pinnoitettu kiekkolevy voidaan räätälöidä vastaamaan erityisiä vaatimuksia ja mieltymyksiä. Tarjoamme räätälöityjä vaihtoehtoja koon säätämisestä pinnoitteen paksuuden vaihteluihin, mikä mahdollistaa suunnittelun joustavuuden, joka optimoi suorituskyvyn eri sovelluksissa ja prosessiparametreissa.