ICP piihiilipinnoitettu grafiitti

Epitaksiaalisessa kasvuprosessoinnissa käytettävien kiekkojen kantoaineiden on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex ICP Silicon Carbon Coated Graphite -suskeptorit on suunniteltu erityisesti näitä vaativia epitaksialaitteita varten. Tuotteemme on suunniteltu kestämään korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta, mikä takaa pitkän käyttöiän ja optimaalisen tuloksen.
ICP Silicon Carbon Coated Graphite on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja ICP-piihiilipäällystetystä grafiitistamme.

ICP-piihiilipinnoitetun grafiitin parametrit

ICP Silicon Carbon Coated Graphite -grafiitin ominaisuudet

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja

Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti

Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.

Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.

Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.

- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio

- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus

- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen