SiC-pinnoitettu tukirengas

Semicorex SiC Coated Support Ring on tärkeä rooli puolijohdelevyille kerrostetun epitaksiaalisten kerrosten tarkkuuden ja laadun varmistamisessa.

SiC-pinnoitettu tukirengas tarjoaa vankan suojakerroksen, joka kestää epitaksiaalisille kasvureaktoreille tyypillisiä äärimmäisiä lämpötiloja ja syövyttäviä ympäristöjä. SiC:n erinomaiset lämpöominaisuudet varmistavat tasaisen lämpötilan jakautumisen kiekon pinnalla minimoiden lämpögradientteja ja jännityksiä. Tämä vakaus on ratkaisevan tärkeää korkealaatuisten epitaksiaalisten kerrosten saavuttamiseksi minimaalisilla virheillä.

SiC-pinnoitettu tukirengas vastustaa epitaksiaalisessa prosessissa käytettyjen reaktiivisten kaasujen aiheuttamia kemiallisia hyökkäyksiä, mikä pidentää tukirenkaan käyttöikää ja säilyttää prosessin eheyden. Tämä vastus vähentää kontaminaatioriskejä ja parantaa puolijohdelaitteiden puhtautta ja suorituskykyä.

SiC-pinnoitettu tukirengas säilyttää tarkan kiekon sijoittelun, mikä on kriittistä tasaisen kerrosten levittämisen kannalta. SiC-pinnoitetun tukirenkaan rakenteellinen eheys korkeissa lämpötiloissa varmistaa tasaisen suorituskyvyn useiden käsittelyjaksojen aikana.

Semicorex SiC Coated Support Ring on keskeinen osa puolijohdeteknologian kehittämistä, mikä varmistaa korkealaatuisten laitteiden tuotannon optimaalisella suorituskyvyllä ja luotettavuudella.