Sic -päällystetty levy

Semicorex sic -päällysteinen levy on suunniteltu korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu erityisesti epitaksiaalisille (EPI) kasvulaitteille, jotka vaativat vakaat, korkean puhtaan substraattien korkealaatuisten kalvojen luomiseksi. Se on erittäin luja grafiittisydin, tasaisesti ja tiheästi päällystetty piiharbidilla (sic), saavuttaen korkean lujuuden grafiitin vertaansa vailla olevan lämpö- ja mekaanisen resistiivisyyden yhdistettynä sic: n kemialliseen stabiilisuuteen ja pinnan kestävyyteen. Semicorex sic -päällysteinen levy on rakennettu ylläpitämään epitaksiaalisten prosessien äärimmäisiä vaikeuksia yhdisteiden puolijohteiden mukaan lukien sic ja gan.

SIC -päällystetyn levyn grafiittisydämessä on erinomainen lämmönjohtavuus, pieni tiheys ja ylivoimainen lämpöiskunkestävyys. Grafiittisydämen kohtalaisen alhainen lämpömassa tasapainotettuna erinomaisella lämmönjohtavuudella mahdollistaa lämmön nopean jakautumisen tasaisesti prosessissa, jossa lämpötilasyklit tapahtuvat suurilla nopeuksilla. Kemiallisen höyryn laskeutumisen (CVD) kerrostettu ulkokerros tarjoaa suojaesteen, joka lisää kovuutta, korroosionkestävyyttä ja kemiallista inerttiä, joka tarjoaa välittömän arvon hiukkasten muodostumisen rajoittamisessa tai estämisessä. Tämä kiinteä alkuainepinta yhdistettynä grafiittipohjan fysikaalisiin ominaisuuksiin varmistaa erittäin korkea puhtausprosessiympäristö, jolla on hyvin vähän tai ei lainkaan viantuotannon riski epitaksiaalikerroksissa.

Mitta tarkkuus ja pinnan tasaisuus ovat myös SIC -päällystetyn levyn välttämättömiä ominaisuuksia. Jokainen levy on koneistettu ja päällystetty tiukalla toleranssilla prosessin suorituskyvyn tasaisuuden ja toistettavuuden varmistamiseksi. Sileä ja inertti pinta vähentää ytimekohtia ei -toivottua kalvon laskeutumista varten ja parantaa kiekkojen yhtenäisyyttä levyn pinnan yli.

Epitaksiaalireaktoreissa SIC -päällystetty levy toteutetaan tyypillisesti herkkänä, vuoraus tai lämpökilpi rakenteen antamiseksi ja lämmönsiirtoväliaineena käsiteltäväksi kiekkoon. Vakaa suorituskyky vaikuttaa suoraan kristallinlaatuun, satoon ja tuottavuuteen.