SiC-pinnoitetut grafiittipohjaiset suskeptorit MOCVD:lle

SiC-pinnoitetuilla grafiittipohjaisilla MOCVD-suskeptoreillamme on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, mikä takaa erinomaisen vakauden jopa äärimmäisissä ympäristöissä.
Tämän piikarbidilla päällystetyn grafiittipohjaisen MOCVD-suskeptorin ominaisuudet ovat erinomaisia. Se on valmistettu erittäin puhtaalla piikarbidipinnoitteella grafiitilla, mikä tekee siitä erittäin kestävän hapettumista korkeissa lämpötiloissa jopa 1600°C. Sen valmistuksessa käytetty CVD-kemiallinen höyrypinnoitusprosessi varmistaa korkean puhtauden ja erinomaisen korroosionkestävyyden. Kantoaineen pinta on tiivis, ja siinä on hienojakoisia hiukkasia, jotka parantavat sen korroosionkestävyyttä tehden siitä kestävän happoa, alkalia, suolaa ja orgaanisia reagensseja.
SiC-pinnoitetut grafiittipohjaiset suskeptorimme MOCVD:lle varmistavat tasaisen lämpöprofiilin, mikä takaa parhaan laminaarisen kaasuvirtauskuvion. Se estää kontaminaatioita tai epäpuhtauksia leviämästä kiekkoon, mikä tekee siitä ihanteellisen käytettäväksi puhdastilaympäristöissä. Semicorex on laajamittainen piikarbidilla päällystetyn grafiittisusseptorin valmistaja ja toimittaja Kiinassa, ja tuotteillamme on hyvä hintaetu. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi puolijohdeteollisuudessa.

SiC-pinnoitettujen grafiittipohjaisten suskeptorien parametrit MOCVD:lle

SiC Coated Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen