SiC-pinnoitettu epitaksilevy

Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc sisältää joukon vertaansa vailla olevia etuja puolijohdeteollisuudessa, joita voidaan kehittää edelleen seuraavasti:

Alhainen lämpölaajenemiskerroin: Piikarbidilla päällystetyllä epitaksilevyllä on huomattavan alhainen lämpölaajenemiskerroin, mikä on kriittistä puolijohdeprosessoinnissa, jossa mittojen vakaus on välttämätöntä. Tämä ominaisuus varmistaa, että piikarbidilla päällystetty epitaksilevy laajenee tai supistuu mahdollisimman vähän lämpötilan vaihteluissa, mikä säilyttää puolijohderakenteen eheyden korkean lämpötilan prosessien aikana.

Korkeiden lämpötilojen hapettumisenkestävyys: Tämä piikarbidilla päällystetty epitaksilevy on suunniteltu erittäin hapettumiskestävyyteen, ja se säilyttää rakenteellisen eheytensä korkeissa lämpötiloissa, joten se on ihanteellinen komponentti sovelluksiin korkeissa lämpötiloissa puolijohdeprosesseissa, joissa lämpöstabiilisuus on ratkaisevan tärkeää.

Tiheä ja hienohuokoinen pinta: SiC Coated Epitaxy Disc -levyn pinnalle on ominaista sen tiheys ja hienohuokoisuus, mikä tarjoaa optimaalisen pintarakenteen eri pinnoitteiden kiinnittämiseen ja varmistaa tehokkaan materiaalin poiston puolijohdekiekkojen käsittelyn aikana herkkää pintaa vahingoittamatta.

Korkea kovuus: Pinnoite antaa korkean kovuuden grafiittilevylle, joka kestää naarmuuntumista ja kulumista, mikä pidentää SiC Coated Epitaxy Disc -levyn käyttöikää ja vähentää vaihtotiheyttä puolijohteiden valmistusympäristöissä.

Kestävyys happoja, emäksiä, suoloja ja orgaanisia reagensseja vastaan: SiC-pinnoitetun epitaksilevyn CVD SiC -pinnoite tarjoaa erinomaisen kestävyyden monenlaisia ​​syövyttäviä aineita, kuten happoja, emäksiä, suoloja ja orgaanisia reagensseja vastaan, joten se sopii käytettäväksi ympäristöissä, joissa altistuminen kemikaaleille on huolenaihe, mikä lisää laitteiden luotettavuutta ja käyttöikää.

Beta-SiC-pintakerros: SiC Coated Epitaxy Disc -pintakerros SIC (Silicon Carbide) koostuu beta-SiC:stä, jolla on pintakeskeinen kuutio (FCC) kiderakenne. Tämä kiderakenne myötävaikuttaa pinnoitteen poikkeuksellisiin mekaanisiin ja lämpöominaisuuksiin tarjoten levylle erinomaisen lujuuden ja lämmönjohtavuuden, mikä on välttämätöntä puolijohdekäsittelylaitteille.