SiC Chuck

Poikkeuksellisesta lämmönjohtavuudestaan, korkeasta lujuudestaan ​​ja erinomaisesta kulutuskestävyydestään ja kemiallisesta korroosiosta tunnettu Semicorex SiC Chuck on suunniteltu tarjoamaan ylivoimaista suorituskykyä vaativissa ympäristöissä.

SiC-istukat poistavat tehokkaasti lämpöä ja varmistavat vakaan lämmönhallinnan korkean lämpötilan prosesseissa, mikä on ratkaisevan tärkeää puolijohdekiekkojen eheyden säilyttämiseksi. Piikarbidin luontainen kestävyys tarjoaa poikkeuksellisen kestävyyden, mikä vähentää mekaanisten vikojen tai muodonmuutosten riskiä suuressa rasituksessa. Useimpia kemikaaleja ja happoja kestävät SiC-istukat sopivat ympäristöihin, joissa ne saattavat altistua koville aineille, mikä pidentää niiden käyttöikää. Pienen lämpölaajenemiskertoimen ansiosta SiC-istukat säilyttävät muotonsa ja rakenteellisen eheytensä vaihtelevissa lämpötiloissa, mikä varmistaa herkkien kiekkojen erittäin tarkan käsittelyn.

Käytetään laajasti prosesseissa, kuten Chemical Vapor Deposition (CVD) ja Physical Vapor Deposition (PVD), joissa lämpötilan hallinta ja kemikaalien kestävyys ovat kriittisiä.

Semicorex SiC -istukat ovat välttämättömiä edistyneillä valmistussektoreilla, joilla niiden ylivoimaiset ominaisuudet parantavat tuotteiden laatua, lisäävät toiminnan tehokkuutta ja pienentävät ylläpitokustannuksia.