SiC keraaminen robottivarsi

SiC keramiikkarobotti käsiSitä käytetään useissa puolijohdekiekkojen valmistusprosesseissa, ja sillä on tärkeä rooli kiekkojen valmistuksen laadun ja tehokkuuden varmistamisessa. Se asennetaan yleisesti erilaisten puolijohdelevyjen, kuten etsauskoneiden, päällystyslaitteiden, litografiakoneiden, puhdistuslaitteiden, kammioiden sisään ja ulkopuolelle, jotka osallistuvat suoraan puolijohdekiekkojen käsittelyyn ja sijoitteluun. 

Puolijohdekiekot ovat helposti hiukkasten saastuttamia, joten niihin liittyvät valmistusprosessit suoritetaan pääosin puhtaissa ja tyhjiöpuolijohdelaitteessa. Varsinaisessa käytössä, tällaisten laitteiden olennaisena osana, keraaminen piikarbidirobottivarsi tulee suoraan kosketukseen puolijohdekiekkojen kanssa ja sen on myös täytettävä erittäin korkeat puhtausvaatimukset. Semicorexin SiC keraaminen robottivarsi on valmistettu korkean suorituskyvyn piikarbidikeramiikasta, jota seuraa tarkkuus pintakäsittely ja puhdistuskäsittely, jotka voivat täyttää tarkasti puolijohteiden valmistuksen tiukat puhtauden ja pinnan tasaisuuden vaatimukset. Tämä vähentää merkittävästi kiekkojen vikoja ja parantaa kiekkojen tuotantoa.

SiC keramiikkarobottikäsivarsi on optimaalinen vaihtoehto lämpökäsittelytoimenpiteisiin, kuten hehkutukseen, hapetukseen ja diffuusioon. Piikarbidimateriaalien poikkeuksellisen lämmönkestävyyden ja erinomaisen lämpöiskunkestävyyden ansiosta piikarbidikeraaminen robottivarsi pystyy toimimaan luotettavasti pitkiä aikoja korkeissa lämpötiloissa. Se voi vastustaa lämpölaajenemisen vaikutusta ja säilyttää rakenteellisen eheytensä lämpörasituksen alaisena, mikä varmistaa kiekkojen sijoittelun tasaisen tarkkuuden.

Vahvan syövyttävien kaasujen ja nesteiden kestävyyden ansiosta keraaminen piikarbidirobottivarsi voi säilyttää suorituskykynsä vakaasti myös altistuessaan aggressiivisille syövyttäville prosessiympäristöille, kuten etsaukselle, ohutkalvopinnoitukselle ja ioni-istuttamiselle. Tämä korroosionkestävyys parantaa puolijohdekiekkojen valmistuksen tehokkuutta vähentämällä tehokkaasti korroosioon liittyvien komponenttien vaurioiden riskiä ja vähentämällä toistuvien vaihtojen ja huollon tarvetta.