Sic -keraamiset veneet

Semicorex sic -keraamiset veneet ovat huipputeknisiä operaattoreita, jotka on erityisesti suunniteltu kuljettamaan, varastoimaan ja käsittelemään puolijohdevelvoja turvallisesti vaativimmissa kemiallisesti ja termisissä äärimmäisissä ympäristöissä. Puolijohdeteollisuus on nopeasti ottanut käyttöön uusia suorituskykystandardeja, jotka ovat vaatineet SIC-keraamisia veneitä luotettavasti, luotettavasti ja saastuttamattoman saavuttamiseksi nykyaikaisten kiekkojen valmistusprosessien suvaitsemattomiin ja kriittisiin vaatimuksiin.

Vahva lämpöstabiilisuus ja lujuus

SiC -keraamisten veneiden määrittelevä ominaisuus on sen erittäin korkea lämpöstabiilisuus. SIC -keraamiset veneet voivat kestää lämpötilan yli 1600 ° C: ssa menettämättä muodon tai rakenteensa aggressiivisten lämpösykliprosessien aikana. Erittäin matalan lämpölaajennuskertoimen vuoksi sic-keraamiset veneet ovat vähemmän alttiita vääristymiseen ja halkeiluun, mikä mahdollistaa tiukka toleranssit ja yleinen kiekkoturvallisuus käsittelyn aikana jäykissä olosuhteissa.

Korkea puhtaus ja kemiallinen vastustuskyky

SIC-keraamiset veneet on valmistettu erittäin korkeasta puhtaudesta piikarbidista. SIC -keraamiset veneet ovat myös erittäin kestäviä kemialliselle hajoamiselle, syövyttämiselle ja heikentävälle plasmalle. SIC -keraamisten veneiden inertti luonne tarkoittaa syövyttävien kaasujen, reaktiivisten ympäristöjen, happamien olosuhteiden prosesseja, jotka eivät muodosta joko saastumista veneestä tai ei mitään liukoista vahingoittamaan työprosessia. SIC-keraamisten veneiden saastumaton pinta ei salli hiukkasten muodostumista tai ionin uunia, joten kiekkojen pinta ei vaaranna epäpuhtauksien avulla, jotka estävät laitteen suorituskykyä tai satoa.

Tarkkuustekniikka turvallisen kiekon käsittelyyn

SIC -keraamiset veneet valmistetaan tiukassa toleranssissa, jolloin ne voivat käsitellä eri halkaisijoiden kiekkoja, mukaan lukien 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm ja paljon muuta. SIC -veneiden rakennesuunnittelu tarjoaa erinomaisen tasaisuuden, rinnakkaisuuden ja tasaisen aukkokoon ylläpitääkseen oikean kiekkojen liputtamisen suuntautumista ja suojaamaan kiekon reunoja siirryttäessä toiseen prosessiin tai työkaluun. Kaikki SIC -veneet voidaan suunnitella mukautetuilla mitoilla työkalusarjan vastaiseksi tai mahdolliset automaatiovaatimukset.

Pitkä käyttöikä ja kustannustehokkaampi

SIC korvaa perinteiset materiaalit (kvartsi, alumiinioksidi) merkittävästi parannetulla mekaanisella lujuudella, murtumislujuudella ja lämmönkestävyydellä. Tämä kestävyystaso tarkoittaa pidempää käyttöiän ennen "epäonnistumista", huomattavasti vähemmän korvauksia leikkauksen aikana ja alentaa kokonaiskustannuksia. SIC: n kestävyyden suorituskyvyn johdonmukaisuus vähentää aikoja ja nopeuttaa suorituskykyä puolijohteiden valmistuslinjoilla.

Avoimet sovellukset puolijohdeprosesseissa

SIC-keraamisia veneitä käytetään laajasti käyttöliittymissä puolijohdeprosesseissa, kuten:

LPCVD- ja PECVD -laskeuma

Lämmönhapetus

Ionin implantointi

Hehkutus ja diffuusio

Kiekkojen puhdistus ja kemiallinen prosessointi

SiC -keraamisilla kahvoilla on yhteensopivia prosessointisovelluksia sekä ilmakehän että tyhjiöprosessikammioissa, mikä tekee siitä ihanteellisen valinnan valimoille ja FABS: lle, joka haluaa minimoida ja vähentää saastumisriskiä ja parantaa tuottavuutta.