Sic ulokeväli

Semicorex sic -konsolin melat ovat korkean suorituskyvyn komponentteja, jotka on suunniteltu tarkalleen kiekkojen käsittelyyn ja kiekkojen kuljetukseen puolijohdekappaleen lämpökäsittelylaitteissa (LPCVD, PECVD, hapetus ja diffuusiouunit). Nämä ulokekannat tarjoavat kiekkojen alustan ja välttämättömän tuen muodon, joka varmistaa haurasten kiekkojen vakaan ja luotettavan kuljetuksen ankarien korkean lämpötilan prosessien kautta (usein yli 1200 ° C). Canilever-melat valmistetaan korkeasta puhtaasta piikarbidista (SIC), joka tarjoaa mekaanisen kestävyyden, lämmön stabiilisuuden ja korroosioiden vastaiset ominaisuudet puolijohteiden valmistusympäristölle.

Piharbidi on super-premium-keraaminen materiaali, jolla on erinomainen lämmönjohtavuus, alhainen lämmön laajeneminen ja kyky suorittaa luotettavasti kemiallisesti vihamielisissä ympäristöissä. Piekarbidi ulokella voi auttaa vähentämään lämpövähämistä

 ja liike, joka pitää kiekot tasaisena ja nimellisessä prosessointiasennossaan. Kiekkojen lämpöstabiilisuus ulottuvien melojen yhteydessä on tärkeä minimoida hiukkasten saastumisen ja mekaanisen liikkeen ongelmat etenkin edistyneiden solmulaitteiden tuottamisessa. Nämä kysymykset voivat johtaa satohäviöihin tai kalliisiin reunuksiin ja kiekkojen korvaamiseen.

SIC -uloke -melojen monoliittinen muoto parantaa mekaanista kestävyyttä ja lämpö yhdenmukaisuutta samalla kun eliminoi niveliä ja heikkoja pisteitä, joita voi tyypillisesti olla komposiitteissa. Lisäksi melojen pintapinta on erityisesti hallittu ja yleensä kiillotettu melkein peililaatuisuuteen hiukkasen muodostumisen minimoimiseksi ja on erittäin puhdashuoneiden luokan yhteensopiva.

Diffuusio- ja hapetusprosesseissa, joihin liittyy happea, höyryä ja muita reaktiivisia kaasuja; Tavanomaiset materiaalit voivat romahtaa tai muodonmuutoksen ajan myötä. SiC: n luontainen kemiallinen inertti -ominaisuus varmistaa, että melat eivät ylitä tai syövyttävät ja tuovat prosessille saastumisen epävakaiden materiaalien käytön vuoksi, mikä edistää vakaampaa prosessia ja luotettavia tuloksia.  SiC -uloke -melojen rakenteellinen eheys pysyy vakaana lämmityksen ja jäähdytyksen nopeasta pyöräilystä huolimatta. Siksi ne tarjoavat pitkän operatiivisen käyttöiän huomattavasti vähentyneellä kunnossapidolla tai osien vaihtamisella.

Lisäksi sic -melojen vähentynyt massa ja kevyt paino sallivat nopeamman lämpövasteen; Sillä on siten nopeamman lämpö- ja jäähdytysaikojen lisääminen tuottavuuden ja energiatehokkuuden lisäämiseen, kaikki tärkeimmät mittarit puolijohdevalmistuksen kilpailutilanteessa.

SIC -ulottimen melat voidaan toimittaa useissa kokoonpanoissa ja koossa, jotka on suunniteltu ja valmistettu majoittamaan erilaisia uunimalleja ja kiekkokokoja, jotka vaihtelevat 100 - 300 mm ja suurempia. OEM-laitteiden ja laitteiden integraattorit arvostavat sic-melojen johdonmukaisuutta ja luotettavuutta ajan myötä sekä käyttöliittymissä että taustaprosesseissa.

Semicorex tarjoaa premium -sic -uloke -melat, joissa on tiukka ohjaus materiaalin puhtauteen, mikrorakenteeseen ja mittatoleransseihin. Edistyneet prosessiominaisuudet yhdistettynä puolijohteiden lämpödynamiikan tietoihimme antavat meille mahdollisuuden tuottaa meloja näillä ominaisuuksilla, jotka täyttävät tai ylittävät teollisuuden standardit vakauden, puhtauden ja kestävyyden suhteen. Kun sen on oltava oikea ja luotettava, Semicorex on paikka mennä laadukkaisiin sic -komponentteihin.