SiC ulokemela

Semicorex SiC (Silicon Carbide) ulokesiipi on tärkeä komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP (Rapid Thermal Processing). Se palvelee kiekkojen tukemista ja kuljettamista näiden uunien prosessiputkessa.

Semicorex SiC Cantilever Paddle koostuu pääasiassa piikarbidista, joka on kestävä ja lämpöstabiili materiaali, joka tunnetaan korkean lämpötilan kestävyydestään ja erinomaisista mekaanisista ominaisuuksistaan. Piikarbidi on valittu sen kyvyn vuoksi kestää ankaria olosuhteita, joita kohdataan puolijohdeuunien korkean lämpötilan prosessiympäristöissä. SiC Cantilever Paddle mahdollistaa sen ulottuvan uunin prosessiputkeen samalla, kun se on ankkuroitu tiukasti toisesta päästä putken ulkopuolelle. Tämä rakenne varmistaa vakauden ja tuen prosessoitaville kiekoille samalla kun minimoi häiriöt uunin sisällä olevan lämpöympäristön kanssa.

SiC Cantilever Paddle kuljettaa puolijohdekiekkoja turvallisesti prosessiputkessa useiden korkean lämpötilan prosessien, kuten diffuusion ja RTP:n, aikana. Sen vankka rakenne varmistaa, että se kestää näiden prosessien aikana kohdattavat äärimmäiset lämpötilat ja kemialliset ympäristöt ilman hajoamista tai vikaa. SiC-ulokepäat on suunniteltu yhteensopiviksi laajan valikoiman puolijohdekiekkojen kokoja ja muotoja, joita yleisesti käytetään teollisuudessa. Ne ovat usein mukautettavissa erityisten uunikokoonpanojen ja prosessivaatimusten mukaan.