SiC vene

Semicorex SiC -veneet on valmistettu huolella erittäin puhtaasta piikarbidikeramiikasta, materiaalista, joka tunnetaan vertaansa vailla olevasta lämpöstabiilisuudestaan, poikkeuksellisesta mekaanisesta lujuudestaan ​​ja horjumattomasta kemiallisesta inertsistään. Nämä ominaisuudet tekevät siitä täydellisen valinnan puolijohteiden valmistuksen vaativiin olosuhteisiin.

SiC-veneillä on vertaansa vailla oleva mekaaninen lujuus ja kestävyys materiaalin kovuuden ja poikkeuksellisen kulutuskestävyyden ansiosta. Tämä antaa heille mahdollisuuden kestää korkean suorituskyvyn puolijohteiden tuotantoympäristöjen vaativa luonne ilman, että ne joutuvat asteittaiseen kulumiseen. Toisin kuin muut materiaalit, piikarbidi säilyttää rakenteellisen eheytensä ajan myötä, mikä vähentää merkittävästi toistuvien vaihtotarvetta ja minimoi tuotantokatkoksia – mikä viime kädessä johtaa merkittäviin kustannussäästöihin puolijohdevalmistajille.

Piikarbidin kemiallinen inertisyys vahvistaa entisestään sen soveltuvuutta puolijohdeprosesseihin tekemällä siitä erittäin kestävän reaktiivisten kaasujen ja yleisesti käytettyjen materiaalien, kuten kloorin ja fluorin, aiheuttamaa kemiallista hyökkäystä. Tämä vankka vastus varmistaa, että SiC-alukset eivät saastuta kiekkoja käsittelyn aikana, mikä ylläpitää valmistettavien puolijohdelaitteiden puhtautta ja laatua. Prosesseissa, jotka vaativat vieläkin korkeampaa kemiallista kestävyyttä, SiC-veneet voidaan päällystää ylimääräisellä piikarbidikerroksella, mikä muodostaa ylimääräisen suojan kemiallista hyökkäystä vastaan ​​ja kohottaa veneen pintakäsittelyä hiukkaskontaminaation riskin vähentämiseksi.

Näissä veneissä käytetyn piikarbidikeramiikan korkea puhtaus on kriittinen, sillä puolijohteiden valmistuksessa tarvitaan materiaaleja, joissa on mahdollisimman vähän epäpuhtauksia. Pienetkin määrät epäpuhtauksia voivat heikentää kiekkojen sähköisiä ominaisuuksia ja aiheuttaa vikoja lopullisissa laitteissa. SiC-veneet on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidikeramiikasta sen varmistamiseksi, että ne eivät aiheuta epäpuhtauksia prosessiympäristöön edes puolijohteiden valmistukseen tyypillisissä korkeissa lämpötiloissa ja reaktiivisissa olosuhteissa. Tämä puhtaus vahvistaa SiC-veneiden luotettavuutta kriittisissä prosessivaiheissa.

SiC-veneiden yhteensopivuus eri puolijohdelaitteiden kanssa on ensiarvoisen tärkeää. SiC:n monipuolisuuden ansiosta se voidaan työstää tarkasti erityyppisten puolijohdeuunien ja -reaktorien vaatimiin mittoihin ja konfiguraatioihin, mikä tekee niistä soveltuvia monenlaisiin sovelluksiin pienimuotoisesta tutkimus- ja kehitystoiminnasta suuriin tuotantolinjoihin. Lisäksi materiaalin poikkeuksellinen lämmönjohtavuus ja lämmönpoisto-ominaisuudet edistävät tehokkaampaa lämpötilan hallintaa prosessoinnin aikana, mikä parantaa entisestään puolijohdelaitteiden suorituskykyä ja tuottoa.