Satelliittisevy

Semicorex -satelliittikilpi on elintärkeä kiekko -kantaja epitaksiaalisen kasvuprosessin aikana, mikä takaa tasaisen laskeutumisen ja optimaalisen prosessin tehokkuuden. Tämä levy on rakennettu korkean puhtaan grafiitista ja päällystetty vankalla piikarbidikerroksella (sic), ja se tuottaa poikkeuksellisen lämpöstabiilisuuden, kemiallisen resistenssin ja mekaanisen lujuuden, vahvistaen sen sijainnin välttämättömänä komponenttina korkean suorituskyvyn puolijohteiden valmistuksessa.

Korkean puhtaan grafiittipohjan avulla satelliittikilpi on erinomainen lämmönjohtavuudessa ja rakenteellisessa eheydessä. SeSic -pinnoitelisää merkittävästi sen kestävyyttä, mikä tarjoaa korkean lämpötilan resistenssiä, kemiallista inerttiä ja vähentää dramaattisesti hiukkasten muodostumista. Tämä tehokas yhdistelmä varmistaa, että levy kestää ankaria prosessointiolosuhteita ja suoritetaan jatkuvasti korkealla tasolla. Grafiittipohja helpottaa tehokasta lämmönsiirtoa varmistaen tasaisen lämpötilan jakautumisen kiekon yli, kun taas sic -pinnoite suojaa syövyttäviltä prosessikaasuilta, estäen saastumisen ja pidentäen käyttöiän. Lisäksi sic-pinta minimoi hiukkasten vapautumisen, mikä on kriittinen korkean tuoton puolijohteiden valmistuksen saavuttamiseksi.

Suunniteltu erityisesti saumattomaan integrointiin Aixtron G5+ -järjestelmiin, satelliittikilpi takaa tarkan kiekon sijainnin ja kiertotasapainon, välttämättömänä vakaan lämpöolosuhteiden ylläpitämiseksi ja vikojen määrän vähentämiseksi. Levyn edistynyt materiaalikoostumus ei vain pidennä sen käyttöiän käyttöä, vaan myös alentaa merkittävästi toimintakustannuksia ja parantaa valmistuksen tuottavuutta.

Satelliittilevy on ensisijaisesti käytetty metalliogaanisessa kemiallisessa höyryn laskeutumisprosessissa (MOCVD), ja se on ratkaisevan tärkeä epitaksiaalikerrosten kasvattamiseksi puolijohdekiekkoissa. Sillä on avainrooli edistyneiden puolijohdelaitteiden, mukaan lukien LED-, sic- ja GAN-pohjaisen tehoelektroniikan, fotonisten ja optoelektronisten komponenttien sekä korkeataajuisten RF-laitteiden, tuotannossa. Varmistamalla stabiilit lämpöolosuhteet ja minimoimalla saastumisen satelliittilevy takaa johdonmukaisen epitaksiaalikerroksen kasvun, mikä johtaa parantuneeseen kiekkojen käsittelyyn ja korkeampaan satoasteeseen. Sen optimoitu muotoilu varmistaa kiekkojen tuen tehokkaasti vähentämällä vikoja ja varmistamalla tarkkuuden koko puolijohteiden käsittelyvaiheissa.

Semicorex -satelliittikierros toimii olennaisena komponenttina Aixtron G5+ -epitaksireaktoreille, mikä tarjoaa vertaansa vailla olevan kestävyyden, kemiallisen resistenssin ja lämmön suorituskyvyn. Sen huippuluokan materiaalikoostumus ja tekniikka tekevät siitä kriittisen puolijohteiden valmistusprosessin kannalta, mikä varmistaa korkean tuoton ja korkealaatuisten kiekkojen tuotannon. Sijoita satelliittikierrokseen puolijohteiden valmistuksen nostamiseksi ja epitaksiaalisten kasvuprosessien huippuosaamisen saavuttamiseksi.