Tuotteet

Semicorex SiC -pinnoitetut planetaariset suskeptorit ovat erittäin tarkkoja grafiittia tukevia komponentteja, jotka on päällystetty tiheällä piikarbidipinnoitteella ja jotka on suunniteltu erityisesti edistyneitä MOCVD-laitteita varten. Ne voivat mahdollistaa tasaisen kaasuvirtauksen ja lämmönjakauman, mikä edistää optimaalisen epitaksiaalisen ympäristön luomista.

Semicorex SiC keraamiset kiekot ovat korkean suorituskyvyn piikarbidiratkaisuja, jotka on suunniteltu tukemaan ja kuljettamaan kiekkoja turvallisesti huippuluokan puolijohteiden valmistuksen aikana. Näiden erinomaisten etujen ansiosta ne sopivat hyvin korkean lämpötilan puolijohteiden tarkkoihin valmistusprosesseihin, kuten hapetus-, diffuusio- ja CVD-prosesseihin.

Semicorex SiC -pinnoitetut kaasunohjauslevyt ovat puolijohteiden epitaksiaalisissa laitteissa käytettyjä välttämättömiä grafiittikomponentteja, jotka on suunniteltu erityisesti säätelemään reaktiokaasuvirtausta ja edistämään tasaista kaasun jakautumista reaktiokammiossa. Valitse Semicorex, valitse optimaaliset kaasunohjausratkaisut laadukkaiden kiekkojen epitaksiaalisten tulosten saamiseksi.

Semicorex SiC Wafer Carrier on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidikeramiikasta 3D-tulostustekniikan avulla, mikä tarkoittaa, että sillä voidaan saavuttaa erittäin arvokkaita työstökomponentteja lyhyessä ajassa. Semicorexin katsotaan tarjoavan päteviä korkealaatuisia tuotteita asiakkaillemme maailmanlaajuisesti.*

Semicorex CVD SiC -pinnoitetut ylämaarenkaat ovat välttämättömiä renkaan muotoisia komponentteja, jotka on suunniteltu erityisesti kehittyneitä plasmaetsauslaitteita varten. Alan johtavana puolijohdekomponenttien toimittajana Semicorex keskittyy toimittamaan korkealaatuisia, pitkäikäisiä ja erittäin puhtaita CVD SiC -pinnoitettuja ylempiä maarenkaita auttaakseen arvostettuja asiakkaitamme parantamaan toiminnan tehokkuutta ja tuotteiden yleistä laatua.

Semicorex kiinteät CVD SiC -renkaat ovat tehokkaita renkaan muotoisia komponentteja, joita käytetään pääasiassa plasmaetsauslaitteiden reaktiokammioissa edistyneen puolijohdeteollisuuden alalla. Semicorex kiinteät CVD SiC -renkaat läpikäyvät tiukan materiaalin valinnan ja laadunvalvonnan, mikä tarjoaa vertaansa vailla olevan materiaalin puhtauden, poikkeuksellisen plasmakorroosionkestävyyden ja tasaisen toimintakyvyn.