Kiinteät CVD SiC renkaat

Semicorex kiinteäCVD SiCrenkaat asennetaan yleensä syövytyslaitteiston reaktiokammioihin, jotka ympäröivät sähköstaattisia istukkaa toimimaan prosessin esteenä ja energian ohjaimena. Ne voivat keskittää plasman kammiossa kiekon ympärille ja estää plasman ulospäin diffuusion, mikä tarjoaa sopivan energiakentän tarkalle etsausprosessille. Tämä yhtenäinen ja vakaa energiakenttä voi tehokkaasti lieventää riskejä, kuten kiekkojen vikoja, prosessin ajautumista ja puolijohdelaitteiden tuottohäviöitä, jotka johtuvat epätasaisesta energian jakautumisesta ja plasmasäröstä kiekon reunassa.

Erinomaiset materiaaliedut

Semicorex-kiinteät CVD SiC -renkaat on valmistettu erittäin puhtaasta CVD SiC:stä, mikä tarjoaa erinomaiset materiaaliedut täyttämään täysin korkean puhtauden ja korkean korroosionkestävyyden vaatimukset puolijohteiden etsausympäristöissä.

1. Korkea puhtaus

Semicorex solid CVD SiC -renkaiden puhtaus voi ylittää 99,9999 %, mikä tarkoittaa, että renkaat ovat lähes vapaita sisäisistä epäpuhtauksista. Tämä materiaalin poikkeuksellinen puhtaus estää suuresti puolijohdekiekkojen ja prosessikammioiden ei-toivotun kontaminoitumisen epäpuhtauksien vapautumisesta puolijohdeetsausprosessien aikana.

2. Korkea korroosionkestävyys

Semicorexkiinteät CVD SiC renkaatpystyvät säilyttämään rakenteellisen eheyden ja suorituskyvyn vakauden myös altistuessaan vahville hapoille, emäksille ja plasmalle CVD SiC:n erinomaisen korroosionkestävyyden ansiosta, mikä tekee niistä ihanteellisia ratkaisuja ankariin etsauksen käsittelyympäristöihin.

3. Luotettava lämmönhallinnan suorituskyky

CVD SiC:llä on korkea lämmönjohtavuus ja minimaalinen lämpölaajenemiskerroin, minkä ansiosta Semicorex-kiinteät CVD SiC -renkaat saavuttavat nopean lämmön haihtumisen ja säilyttävät erinomaisen mittavakauden käytön aikana.

4. Poikkeuksellinen vastuksen tasaisuus

Semicorex kiinteät CVD SiC renkaat tarjoavat poikkeuksellisen tasaisen vastuksen, kun RRG < 5 %.

Resistiivisyysalueet: Low Res. (<0,02 Ω·cm), Keskires. (0,2–25 Ω·cm), korkea resoluutio (> 100 Ω·cm).

Tarkka laadunvalvonta

Semicorex-kiinteät CVD SiC -renkaat käsitellään ja tarkastetaan tiukkojen standardien mukaisesti, jotta ne täyttävät täysin puolijohde- ja mikroelektroniikan tiukat tarkkuus- ja laatuvaatimukset.

Pintakäsittely: Kiillotustarkkuus on Ra < 0,1 µm; hienohiontatarkkuus on Ra > 0,1 µm

Käsittelyn tarkkuus on ≤ 0,03 mm

Laaduntarkastus: Semicorex-kiinteille CVD SiC -renkaille tehdään mittamittaus, resistiivisyystestaus ja silmämääräinen tarkastus sen varmistamiseksi, että tuotteessa ei ole siruja, naarmuja, halkeamia, tahroja ja muita vikoja.