Tuotteet

Semicorex RTP SIC -pinnoittelulevyt ovat korkean suorituskyvyn kiekkojen kantolaukkuja, jotka on suunniteltu käytettäväksi vaatimaan nopeaa lämpökäsittelyympäristöä. Semicorexin johtavien puolijohteiden valmistajien luottamuksen mukaan Semicorex tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, kestävyyden ja saastumisen hallinnan, jota tukevat tiukat laatustandardit ja tarkkuusvalmistus.*

Semicorex RTP Ring on SiC-pinnoitettu grafiittirengas, joka on suunniteltu korkean suorituskyvyn sovelluksiin Rapid Thermal Processing (RTP) -järjestelmissä. Valitse Semicorex kehittyneelle materiaaliteknologiallemme, joka takaa erinomaisen kestävyyden, tarkkuuden ja luotettavuuden puolijohteiden valmistuksessa.*

Semicorexin RTP Graphite Carrier Plate on täydellinen ratkaisu puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin, mukaan lukien epitaksiaalinen kasvu ja kiekkojen käsittely. Tuotteemme on suunniteltu tarjoamaan ylivoimainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus varmistaen, että epitaksisuskeptorit altistuvat kerrostumisympäristölle, jolla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys.

Semicorex RTP SiC Coating Carrier tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja lämmön tasaisuuden, mikä tekee siitä täydellisen ratkaisun puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin. Laadukkaalla piikarbidilla päällystetyllä grafiitilla tämä tuote on suunniteltu kestämään ankarimmat epitaksiaalisen kasvun saostumisolosuhteet. Korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet takaavat luotettavan suorituskyvyn RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa.

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier on suunniteltu kestämään saostusympäristön kovimmatkin olosuhteet. Korkean lämmön- ja korroosionkestävyytensä ansiosta tämä tuote on suunniteltu tarjoamaan optimaalinen suorituskyky epitaksiaaliseen kasvuun. SiC-pinnoitetulla kantoaineella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet, mikä takaa luotettavan suorituskyvyn RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa.

Semicorex SiC Graphite RTP -kantolevy MOCVD:lle tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja lämmön tasaisuuden, mikä tekee siitä täydellisen ratkaisun puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin. Korkealaatuisella piikarbidilla päällystetyllä grafiitilla tämä tuote on suunniteltu kestämään ankarimmatkin saostumisympäristöt epitaksiaalista kasvua varten. Korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet takaavat luotettavan suorituskyvyn RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa.