Huokoinen sic chuck

Semicorex -huokoinen sic Chuck on keraaminen osa, joka on koottu tarkkuudella kiekko -substraattien turvalliselle ja tehokkaalle käsittelemiseksi puolijohdesovelluksiin prosessivaiheiden, kuten tarkastusten, testauksen ja litografian, kautta. Kalkka on valmistettu mikrohuokoisesta piikarbidikeraamisesta (sic). SIC: llä on mekaaninen lujuus, kemiallinen kestävyys ja lämmön stabiilisuusominaisuudet, joita tarvitaan huippuluokan puolijohdevalmistusympäristöihin.

Huokoisen sic-istunnon olennainen ominaisuus on sen ainutlaatuinen mikrorakenne, jonka huokoisuus on 35%-40%. Putkan huokoisuuden ollessa tiiviisti hallittu, päällekkäinen muotoilu mahdollistaa tyhjiöiden imun jakautumisen tasaisesti istukan läpi, joka tuottaa yhdenmukaisen stabiilin ja kosketuksen tuen tyypillisesti herkille kiekko-substraateille: pii tai gan ja muut yhdistelmäpuolijohteet.  Tyhjiö imutila välttää sekä hiukkasten saastumisen että mekaaniset vauriot säilyttäen siten kiekkojen eheyden prosessin aikana.

Istuimen keraaminen runko on ensisijaisesti korkea puhtaus SIC, muiden keramiikan, kuten alumiinioksidin (AL2O3) kanssa, jota käytetään mahdollisesti rajoitetussa määrässä funktionaalisia kerroksia sovelluksesta riippuen. Materiaalin tutkimus ja kehittäminen sallivat huokoskoon ja jakelun hallitsemisen ilmavirran ja pitämisvoiman suunnittelussa kiekkojen koosta ja prosessiolosuhteista riippuen. Jos on tärkeää hallita tyhjiö ohuemmissa kiekkoissa, pienempi huokoskoko sisällytetään. Nopeamman virtausnopeuden saavuttamiseksi käytetään suurempaa huokoskokoa.

Huokoisilla sic -istukkoilla on värivaihtelu muuttuvien huokoskokojen, keraamisten koostumusten ja ampumisolosuhteiden seurauksena. SIC-istunnot ovat yleensä mustia tai tummanharmaa, koska piikarbidin väri on joko harmaa tai musta, mutta suuret alumiinioksidisisällöt ovat yleensä värillisiä. Värin variaatioilla ei ole vaikutusta tuotteen suorituskykyyn, ja ne edustavat vain suunniteltuja ominaisuuksia, jotka on luotu tietyille sovelluksille erityisten asiakkaiden tarpeiden noudattamiseksi.

Huippuluokan kiekkojen prosessointityökaluissa lämpöstabiilisuus ja kemiallinen inertti ovat kaksi tärkeintä ominaisuutta. Piharbidi tarjoaa erinomaisen resistanssin korroosiokaasuille ja lämpöjaksolle. Huokoinen sic -istukka toimii onnistuneesti tyhjiökammioissa ja plasman etsaustyökaluissa, ja se toimii edelleen hyvin nopeasti muuttuvien lämpötilojen kanssa. Heidän kykynsä ylläpitää istukan dimentlististä vakautta varmistaa, että kiekko pysyy samassa paikassa, vaikka tarkkuusvaatimukset voivat olla ala-mikronin alapuolella riippuen prosessista, joka edistää ulottuvuutta vakiintunetta, varmistaa tarkkuuden.

Semicorex -huokoiset sic -istunnot tehdään käyttämällä valtuutettuja muodostumis- ja sintrausmenetelmiä, jotka tarjoavat tasaisen huokoisuuden, korkean taivutuslujuuden ja alhaisen lämmönlaajennuksen. Jokainen istukka tarkistetaan huokosrakenteen, tasaisuuden ja tyhjiön suorituskyvyn varmistamiseksi luotettavan ja toistettavan tuotteen varmistamiseksi. Mukautettuja malleja on saatavana myös tiettyjen kiekkokokojen ja järjestelmän integrointivaatimusten, kuten selkänojan kaasun virtauskanavien tai asennusominaisuuksien mukauttamiseksi.

Yhteenvetona voidaan todeta, että huokoinen sic -chuck on korkea luotettavuussubstraatin tukijärjestelmä, joka on suunniteltu huolellisesti toimimaan tarkkuus kiekkojen käsittelyä koskevien vaatimusten kanssa. Suurella tyhjiökyvyllä, muokattavissa olevalla huokosrakenteella ja erinomaisella materiaalin stabiilisuudella se on välttämätön tuote nykypäivän puolijohteiden valmistuslinjoilla.