Poly-Si ulkorenkaat etsaukseen

Tyypillisesti sijoitettu ympärillesuihkupää, Poly-Si ulkorengas toimii liitososana poistorenkaan ja suihkupään välillä. Se toimii yhteistyössäsähköstaattinen istukka, Si-suihkupää, Si-tarkennusrengas, Si-poistorengas ja Si-suojarengas, jotka luovat vakaan ja luotettavan prosessiympäristön erittäin tarkkaan etsaukseen.

Semicorex poly-Si -ulkorenkaiden edut etsaukseen

Semicorex poly-Si -ulkorenkaat syövytystä varten on valmistettu tarkasti korkealaatuisesta polypiistä, mikä takaa seuraavat erinomaiset ominaisuudet.

1. Korkea puhtaus ja alhainen hiukkaspitoisuus

2. Superior korkean lämpötilan kestävyys ja korkea lämpöiskun kestävyys

3. Luotettava korroosionkestävyys

4. Poikkeuksellinen sähköinen suorituskyky ja korkea sähkönjohtavuuden tasaisuus

Semicorex poly-Si -ulkorenkaiden toiminnot syövytystä varten

1. Vakaa maadoituksen suorituskyky

Elektrodien maadoittamiseen ja suojaamiseen käytetyt Semicorex poly-Si -ulkorenkaat syövytykseen pystyvät välttämään staattisen sähkön kertymisen sekä kaarivaurion ja varmistamaan elektrodijärjestelmän vakaan toiminnan, mikä täyttää täydellisesti edistyneen 3D NAND -valmistuksen prosessivaatimukset.

2. Luotettava tuki

Semicorex poly-Si -ulkorenkaat syövytystä varten toimivat pakorenkaan ja suihkupään olennaisina komponentteina. Ne tarjoavat luotettavan mekaanisen tuen molemmille osille ja pitävät ne vakaasti sopivassa paikassa. Lisäksi Semicorex poly-Si -ulkorenkaiden käyttö etsaukseen voi estää plasmaeroosiota etsauskammiossa, mikä varmistaa tehokkaasti etsaustoiminnon vakaan suorittamisen.

3. Yhteensopivuus etsausprosessin kanssa

Syövytykseen tarkoitetuissa Semicorex poly-Si -ulkorenkaissa on alhainen epäpuhtauspitoisuus ja poikkeuksellinen korroosionkestävyys, mikä takaa erinomaisen yhteensopivuuden piikiekkojen valmistuksen kanssa, mikä vähentää huomattavasti syövytetyn sivutuotteen kontaminaatiosta johtuvia kiekkovirheitä ja varmistaa merkittävästi korkean tuottoasteen puolijohteiden valmistuksessa.