Plasmakäsittelyn tarkennusrengas

Semicorex Plasmakäsittelyn tarkennusrengas on erityisesti suunniteltu täyttämään puolijohdeteollisuuden plasmaetsausprosessoinnin korkeat vaatimukset. Kehittyneet, erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentimme on rakennettu kestämään äärimmäisiä ympäristöjä ja ne soveltuvat käytettäväksi erilaisissa sovelluksissa, mukaan lukien piikarbidikerrokset ja epitaksiset puolijohteet.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Plasmakäsittelyn tarkennusrenkaamme on erittäin vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen, mikä tekee niistä ihanteellisen valinnan käytettäväksi plasmaetsauskammioissa (tai kuivaetsauskammioissa). Tarkennusrenkaamme tai reunarenkaamme on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä, ja ne on suunniteltu minimoimaan kontaminaatio ja suunnittelematon huolto.

SiC Coating on tiheä, kulutusta kestävä piikarbidipinnoite, jolla on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitin päälle käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD). Tämä varmistaa, että SiC Focus Rings -renkaillamme on erinomainen laatu ja kestävyys, mikä tekee niistä luotettavan valinnan plasmaetsauskäsittelytarpeisiisi.

Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja plasmakäsittelyn tarkennusrenkaastamme.

Plasmakäsittelyn tarkennusrenkaan parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

Plasmakäsittelyn tarkennusrenkaan ominaisuudet

- CVD-piikarbidipinnoitteet käyttöiän pidentämiseksi.

- Lämmöneristys, joka on valmistettu korkean suorituskyvyn puhdistetusta jäykästä hiilestä.

- Hiili/hiilikomposiittilämmitin ja -levy. - Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Erittäin puhdas grafiitti- ja piikarbidipinnoite reikien kestävyyteen ja pidempään käyttöikään