Koti > Tuotteet > Keraaminen > Piikarbidi (SiC) > Plasmakäsittelyn tarkennusrengas
Plasmakäsittelyn tarkennusrengas

Plasmakäsittelyn tarkennusrengas

Semicorex Plasmakäsittelyn tarkennusrengas on erityisesti suunniteltu täyttämään puolijohdeteollisuuden plasmaetsausprosessoinnin korkeat vaatimukset. Kehittyneet, erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentimme on rakennettu kestämään äärimmäisiä ympäristöjä ja ne soveltuvat käytettäväksi erilaisissa sovelluksissa, mukaan lukien piikarbidikerrokset ja epitaksiset puolijohteet.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Plasmakäsittelyn tarkennusrenkaamme on erittäin vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen, mikä tekee niistä ihanteellisen valinnan käytettäväksi plasmaetsauskammioissa (tai kuivaetsauskammioissa). Tarkennusrenkaamme tai reunarenkaamme on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä, ja ne on suunniteltu minimoimaan kontaminaatio ja suunnittelematon huolto.

SiC Coating on tiheä, kulutusta kestävä piikarbidipinnoite, jolla on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitin päälle käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD). Tämä varmistaa, että SiC Focus Rings -renkaillamme on erinomainen laatu ja kestävyys, mikä tekee niistä luotettavan valinnan plasmaetsauskäsittelytarpeisiisi.

Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja plasmakäsittelyn tarkennusrenkaastamme.


Plasmakäsittelyn tarkennusrenkaan parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot

SiC-CVD-ominaisuudet

Kristallirakenne

FCC p-vaihe

Tiheys

g/cm³

3.21

Kovuus

Vickersin kovuus

2500

Raekoko

μm

2~10

Kemiallinen puhtaus

%

99.99995

Lämpökapasiteetti

J kg-1 K-1

640

Sublimaatiolämpötila

2700

Feleksuaalinen voima

MPa (RT 4-piste)

415

Youngin Modulus

Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)

430

Lämpölaajeneminen (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Lämmönjohtavuus

(W/mK)

300


Plasmakäsittelyn tarkennusrenkaan ominaisuudet

- CVD-piikarbidipinnoitteet käyttöiän pidentämiseksi.

- Lämmöneristys, joka on valmistettu korkean suorituskyvyn puhdistetusta jäykästä hiilestä.

- Hiili/hiilikomposiittilämmitin ja -levy. - Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Erittäin puhdas grafiitti- ja piikarbidipinnoite reikien kestävyyteen ja pidempään käyttöikään



Hot Tags: Plasmakäsittelyn tarkennusrengas, Kiina, valmistajat, toimittajat, tehdas, räätälöity, irtotavarana, edistynyt, kestävä
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept