Planeetta

Semicorex -planeetta -herkkailija on välttämätön komponentti puolijohde -epitaksireaktoreille, jotka on suunniteltu erityisesti Aixtron G5+ -laitteille. Rakennettu korkean puhtaan grafiitista jaPiilarbidilla päällystetty (sic), tämä herkkailija takaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, poikkeuksellisen kemiallisen resistenssin ja vertaansa vailla olevan suorituskyvyn korkean lämpötilan ympäristöissä.

Aixtron G5+ -epitaksireaktori on vertailukohta teollisuudessa GAN-, sic- ja muille yhdisteille puolijohdekasvuprosesseille. Planeetta -herkkuri on keskeinen kaasun virtauksen optimoinnissa, varmistaen tarkat kiekkojen kierto, ylläpitämällä tarkan lämpötilan hallinnan ja epitaksiaalikerrosten tasaisen saostumisen saavuttamisen. Sen innovatiivinen suunnittelu parantaa merkittävästi prosessien toistettavuutta, mikä tekee siitä ihanteellisen valinnan suuren määrän tuotantoympäristöihin.

Keskeiset ominaisuudet  

- Edistynyt materiaalikoostumus: Valmistettu korkean puhtaan grafiitista sic-pinnoitteella, mikä tarjoaa parannettua kestävyyttä ja vastustuskykyä ankarille prosessiolosuhteille.  

- Optimoitu lämmönsuorituskyky: Varmistaa yhtenäisen lämmönjakauman, kriittinen korkean tarkkaan epitaksiaalikerroksen kasvulle.  

- Kemiallinen resistenssi: SiC -pinnoite estää grafiitin hapettumista, pidentämällä herkkyyden elinkaarta ja ylläpitää prosessin puhtautta.  

- Tarkkuustekniikka: Suunniteltu täyttämään Aixtron G5+ -järjestelmien tiukat vaatimukset varmistaen saumattoman integraation ja optimaalisen reaktorin tehokkuuden.  

- Korkean pinnan tasaisuus: Minimoi hiukkasten saastuminen, tukee ylivoimaisen kiekkojen laatua ja korkeampaa satoa puolijohteiden valmistuksessa.  

Planeetta -alttiuden edut  

- Laajennettu käyttöikä:Sic -pinnoitevähentää merkittävästi kulumista, mikä johtaa alhaisempaan korvaustaajuuteen ja vähentyneisiin toimintakustannuksiin.  

- Parannettu prosessin vakaus: Varmistaa yhdenmukaisen lämmityksen ja minimaaliset lämpögradientit, mikä johtaa korkealaatuiseen kiekkojen tuotantoon.  

- Yhteensopivuus ja räätälöinti: Saatavana vakio- ja räätälöityinä malleissa tiettyjen Aixtron G5+ -prosessivaatimusten täyttämiseksi.  

GrafiittiOsilla on välttämätön ja erittäin tärkeä rooli puolijohdeprosessissa. Grafiittimateriaalien laadulla on suuri vaikutus lopputuotteiden laatuun. Grafiittierän johdonmukaisuus ja materiaalinen homogeenisuus voidaan hallita ja taata tuotantoprosessin kautta.

1. Pieni erätuotanto, hiilihapokasuuni käyttää vain pientä uunia, joissa on vain 50 kuutiometriä

2. Jokaista materiaalipalaa tarkkaillaan ja seurataan

3. Monipisteen lämpötilan valvonta uunin tilassa varmistaaksesi, että lämpötilaero pidetään hyvin pienellä alueella

4. Materiaalin monipisteen lämpötilan valvonta varmistaakseen, että lämpötilaero pidetään hyvin pienellä alueella

Semicorex -planeetta -alttiu on premium -ratkaisu Aixtron G5+ -reaktoreille, jotka tarjoavat erinomaisen lämpöstabiilisuuden, kemiallisen resistenssin ja tarkkuuden suorituskyvyn. Suunniteltu vaativimpiin puolijohteiden valmistusprosesseihin, se ajaa korkeammat kiekkojen saannot, minimoi saastumisriskin ja pidentää laitteiden käyttöikää. Päivitä epitaksijärjestelmä ylimmän tason herkkyyden kanssa vertaansa vailla oleviin tuloksiin.